BUNDESPATENTGERICHT 14 W (pat) 27/01 _______________ (Aktenzeichen) Verkündet am 30. April 2002 … B E S C H L U S S In der Beschwerdesache betreffend das Patent 197 15 791 … BPatG 154 6.70 - 2 - … hat der 14. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf die mündliche Verhandlung vom 30. April 2002 unter Mitwirkung des Vorsitzenden Richters Dr. Moser sowie der Richter Dr. Wagner, Dr. Feuerlein und Harrer beschlossen: Der angefochtene Beschluß wird aufgehoben. Das Patent 197 15 791 wird mit folgenden Unterlagen beschränkt aufrechterhalten: Patentansprüche 1 bis 6, überreicht in der mündlichen Verhand-lung vom 30. April 2002 Beschreibung Seiten 2 bis 5, gemäß Patentschrift mit der Maßga-be, daß auf Seite 4 in Zeile 51 die Worte "In einer bevorzugten Ausführungsform" durch "Bei der Ausführung" ersetzt werden. 5 Blatt Zeichnungen Figur 1 bis 6, gemäß Patentschrift. G r ü n d e I Mit dem angefochtenen Beschluß vom 21. Dezember 2000 hat die Patentabtei-lung 45 des Deutschen Patent- und Markenamts das Patent 197 15 791 mit der Bezeichnung - 3 - "Verfahren zur Herstellung keramischer Wärmedämmschichten mit Keulenstruktur und Verwendung des Verfahrens" widerrufen. Dem Beschluß liegen die erteilten Patentansprüche 1 bis 7 zugrunde, zu deren Wortlaut auf die Streitpatentschrift verwiesen wird. Der Widerruf ist im wesentlichen damit begründet, ein Verfahren mit den in An-spruch 1 des Streitpatents angegebenen Merkmalen beruhe gegenüber dem durch die Druckschriften (D6) Schulz, U.: Wachstum, Mikrostruktur und Lebensdauer von elektronenstrahlaufgedampften Wärmedämmschicht-Syste-men für Turbinenschaufeln, Shaker Verlag, Aachen, 1995 und (D8) US 4 676 994 belegten Stand der Technik nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit. Aus (D6) ergä-ben sich hinsichtlich der Verfahrensmerkmale Bedampfen von keramischen oder metallischen Substraten mit Zirkoniumdioxid oder SE-dotiertem ZrO2 in einem Substrat-Temperaturbereich von 600 bis 1550 C bei einer Umdrehungsgeschwin-digkeit des Substrats zwischen 1 und 300 ppm, wobei im Anschluß an die Ankeim-phase bei geringer Umdrehungsgeschwindigkeit des Substrats die Beschichtung innerhalb von durch bestimmte Funktionen im Anspruch 1 festgelegten Grenzen der Substrattemperatur und Umdrehungsgeschwindigkeit erfolge, Übereinstim-mungen/Überschneidungen mit dem Anspruch 1 des Streitpatents. Hinsichtlich der Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit bzw Drehrichtung seien die Aussagen in (D6) nicht eindeutig. Die Formulierung von einer "Erhöhung der Rotationsge-schwindigkeit von 12 auf 30 UPM" spreche zwar für eine kontinuierliche Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit, andererseits ließen die Unterschriften zu Bild 28 - 4 - offen, ob die Erhöhung kontinuierlich erfolge. Dieses Merkmal sei jedoch neben weiteren anspruchsgemäßen Merkmalen aus der Entgegenhaltung (D8) bekannt. Diese beschreibe ein Verfahren zum Aufbringen einer oxidkeramischen Wärme-dämmschicht aus Yttriumoxid stabilisiertem Zirkoniumdioxid (YSZ) bestehend aus einer dichten Unterschicht und einer Deckschicht geringerer Dichte mit säulenarti-ger Mikrostruktur auf einem metallischen oder nicht metallischen Substrat, wobei das Substrat gegenüber einer Verdampferquelle mit > 10 UPM rotiere. Die Sub-strattemperatur liege dabei zwischen 540 und 1200°C. Weiterhin werde ausge-führt, daß die Dichte der Schichten von der Substrattemperatur und der Rotations-geschwindigkeit abhänge, die von 10 auf 50 UPM gesteigert werde, wobei auch die Drehrichtung variieren könne. Somit ergäben sich auch zwischen der Lehre der (D8) und Anspruch 1 des Streitpatents Übereinstimmungen bzw Überschnei-dungen bezüglich wesentlicher Merkmale; lediglich zur Ankeimphase seien in die-ser Entgegenhaltung keine Ausführungen gemacht. Für den zuständigen Fach-mann - einen Beschichtungstechniker auf dem Gebiet der Wärmedammschich-ten - sei es naheliegend, den Inhalt beider Schriften zu beachten und zu kombinie-ren, weil in beiden Druckschriften die Ausbildung der Morphologie der Wärme-dämmschichten in Abhängigkeit von Temperatur und Substratrotation im Vorder-grund stehe. Dadurch gelange er - abgesehen von den Definitionsgleichungen für die Bereichseinstellungen für die Drehgeschwindigkeit und die Temperatur - in na-heliegender Weise und ohne erfinderische Bemühungen zu dem Verfahren gemäß Anspruch 1 des Streitpatents. In dieser formelmäßigen Bereichsangabe liege der einzige Unterschied gegenüber einer Zusammenschau von (D6) mit (D8). Da in (D6) bzw (D8) jedoch ein Temperaturbereich (900 bis 1080°C bzw 540 bis 1200°C) und ein Drehgeschwindigkeitsbereich (12 bis 30 UPM bzw 10 bis 50 UPM) angegeben seien, ergebe sich für den Fachmann unschwer, daß der sich aus der (D6) bzw (D8) unter Anwendung der anspruchsgemäßen Definitions-gleichungen ergebende Bereich im Zentralbereich des durch die Formel umschrie-benen Bereichs liege. Die Formel gemäß Anspruch 1 des Streitpatents kleide demnach eine bekannte Lehre lediglich in ein neues mathematisches Gewand (iSv BGH GRUR 1986, S 163, borhaltige Stähle). - 5 - Gegen diesen Beschluß richtet sich die Beschwerde des Patentinhabers, mit der er die beschränkte Aufrechterhaltung des Patents auf der Grundlage der in der mündlichen Verhandlung überreichten Patentansprüche 1 bis 6 verfolgt. Diese An-sprüche haben folgenden Wortlaut: "1. Verfahren zum Bedampfen von keramischen oder metallischen Substraten mit einer Zirkoniumdioxidschicht, die durchgehende keulenartige Kristallsäulen sowie gebogen-verschlungene schlan-kere Nachbarsäulen umfaßt, wobei das Zirkoniumdioxid gegebe-nenfalls mit Seltenerdmetalloxiden oder Oxidgemischen dotiert ist, in einem Temperaturbereich von 600 bis 1550°C Substrattempe-ratur bei Drehung des Substrats im Bereich von 1 bis 300 UPM, wobei man im Anschluß an die Ankeimphase mit geringer Umdre-hungsgeschwindigkeit des Substrats, die Drehgeschwindigkeit und die Temperatur im Bereich einstellt, die durch die Gleichungen 2428 (a) T = --------------------------------- ω0,153 127 1756 (b) T = --------------------------------- ω0,153 127 definiert ist, wobei T für die Substrattemperatur in °K und ω für die Umdrehungsgeschwindigkeit in UPM des Substrats steht, wobei man die Umdrehungsgeschwindigkeit im Verlauf des Ver-fahrens von minimalen auf maximale Drehzahlen kontinuierlich - 6 - oder diskontinuierlich, sowie alternativ in wechselnden Drehrich-tungen variiert. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis der maximalen Drehzahl zur minimalen Drehzahl wenigstens 2 beträgt. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich nach außen vergröbernde Stengelstrukturen mit einem äußeren Stengeldurchmesser von 10 bis 100 µm gebildet werden. 4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die Substrattemperatur wäh-rend des Verfahrens konstant hält oder reduziert. 5. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß man die in das System einge-brachte Leistung reduziert durch (a) Temperaturabsenkung des Substrats, (b) Leistungsabsenkung der Elektronenstrahlkanone, (c) bei Vieltiegelabdampfung durch Abschalten und/oder Inaktivie-ren einer oder mehrerer Kanonen und/oder Verdampfungsquellen, (d) Aktivieren einer Kaltwand oder Kälteplatte im Verdampferrezi-pienten, (e) Einbringen eines Strahlungsschirms zur Absorption der vom Schmelzbad emittierten Strahlungsleistung, (f) Vergrößerung des aktiven Innenraums im Verdampferrezipien-ten, durch Abschalten einer Zusatzleistung und/oder (g) Vergrößerung des Abstandes zwischen Substrat und Ver-dampfungsquelle. - 7 - 6. Verwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5 zur Beschichtung von Turbinenschaufeln." Der Patentinhaber trägt im wesentlichen vor, der Beschluß der Patentabteilung be-ruhe auf einem grundlegenden Mißverständnis der Entgegenhaltungen (D6) und (D8), das sinngemäß auch die im Beschluß nicht berücksichtigte Entgegenhaltung (D9) Dissertation Oliver Lemmer, "Über die Abscheidung und Ei-genschaften aufgedämpfter Zirkonoxidschichten zum Zwek-ke der thermischen Isolation hochbeanspruchter Flugzeug-turbinenschaufeln", CemeCon GmbH Aachen 1993, Sei-ten 34/35, 38/39, 42/43, 82/83, 94/95, 104 bis 107 und 116/117 betreffe. Keine dieser Entgegenhaltungen gebe tatsächlich einen Bereich für die Temperatur und Drehgeschwindigkeit des Substrats bei der Bedampfung an, in-nerhalb dessen bei Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit für die Temperatur ein Bereich durch eine Substrattemperatur/Rotationsgeschwindigkeitsbeziehung definiert sei. Es seien lediglich einzelne Meßpunkte beschrieben, die dem ersten Anschein nach in den durch den Anspruch vorgegebenen Korridor fielen. Den Ent-gegenhaltungen könne daher allenfalls die Aussage entnommen werden, daß eine Beziehung zwischen Substrattemperatur, Rotationsgeschwindigkeit und Schicht-aufbau bestehe. Die Erzielung einer Schicht mit keulenartigen Kristallsäulen sowie gebogen-verschlungenen schlankeren Nachbarsäulen mittels des komplexen Ver-fahrens gemäß Hauptanspruch, bei welchem nach einer Ankeimphase bei gerin-ger Rotationsgeschwindigkeit Temperatur und Rotationsgeschwindigkeit in einem ganz bestimmten Korridor eingestellt und variiert werden müßten, sei hierdurch nicht nahegelegt. Eine Schicht mit derartiger Morphologie sei nicht bekannt gewe-sen; die überlegenen Eigenschaften im Vergleich zu bekannten Schichten mit rei-ner Keulenstruktur seien als Beleg für das Beruhen auf einer erfinderischen Tätig- - 8 - keit anzusehen. Dies gelte auch unter Berücksichtigung der von den Einsprechen-den in der mündlichen Verhandlung wieder aufgegriffenen Entgegenhaltungen (D2) US 5 350 599 A (D7) D. Rigney et al.: PVD thermal barrier coating applications and process development for aircraft engines, NASA confer-ence publication, 3312 (1995) Seiten 135 bis 149 und (D10) EP 0 765 951 A2. Der Patentinhaber beantragt, den angefochtenen Beschluß aufzuheben und das Patent be-schränkt aufrechtzuerhalten auf der Grundlage der Patentansprü-che 1 bis 6, überreicht in der mündlichen Verhandlung, sowie der Beschreibung gemäß Patentschrift mit der Maßgabe, daß in der Patentschrift auf Seite 4 in Zeile 51 die Worte "In einer bevor-zugten Ausführungsform" durch "Bei der Ausführung" ersetzt wer-den und Zeichnungen gemäß Patentschrift. Die Einsprechenden beantragen übereinstimmend, die Beschwerde zurückzuweisen. Sie sind der Auffassung, das beanspruchte Verfahren ergebe sich in naheliegen-der Weise aus dem entgegengehaltenen Stand der Technik. Aus (D6) sei es be-reits bekannt, durch Variation von Umdrehungsgeschwindigkeit und Temperatur den Schichtaufbau zu verändern. Die Umdrehungsgeschwindigkeit im Verlauf ei-nes Beschichtungsvorgangs von minimale auf maximale Drehzahlen zu erhöhen sei eine für den Fachmann übliche Maßnahme; aus (D8) ergäben sich hierauf auch konkrete Hinweise. Die Ausbildung einer keulenartigen Morphologie sei schon in (D6), (D7) und (D9) beschrieben, insbesondere aus (D6) gehe auch be- - 9 - reits das Vorliegen von gebogen-verschlungenen schlankeren Nachbarsäulen ne-ben den keulenartigen Kristallsäulen hervor. Die Entgegenhaltungen (D2) und (D10) seien als zusätzlicher Beleg dafür zu werten, daß während des Beschich-tungsvorgangs eine Variation von Verfahrensparametern wie Temperatur, Sauer-stoffpartialdruck oder Abstand der Beschichtungsquelle zum Bauteil vorgenom-men wurde. Wegen Einzelheiten des schriftlichen Vorbringens wird auf den Akteninhalt Bezug genommen. II Die Beschwerde des Patentinhabers ist zulässig (PatG § 73); sie führt zu dem im Tenor angegebenen Ergebnis. 1. Die geltenden Patentansprüche sind zulässig. Anspruch 1 geht inhaltlich auf die ursprünglichen bzw erteilten Ansprüche 1 und 2 in Verbindung mit Seite 8 Zeilen 21 bis 25 der ursprünglichen Beschreibung bzw Seite 4 Zeilen 18 bis 21 der Streitpatentschrift zurück. Die geltenden Ansprüche 2 bis 5 entsprechen den ursprünglichen bzw erteilten Ansprüchen 3 bis 6 und die Verwendung nach Anspruch 6 basiert auf dem ur-sprünglichen bzw erteilten Anspruch 7. 2. Das beanspruchte Verfahren ist neu. Als nächstgelegener Stand der Technik ist die Dissertation (D6) des Miterfinders U. Schulz anzusehen. Dort sind für ein Verfahren zum Bedampfen von Substraten mit Zirkoniumdioxid die Auswirkungen unterschiedlicher Temperaturen (im Bereich von 900 bis 1080°C entsprechend 1173 bis 1353 K) und Umdrehungsgeschwin- - 10 - digkeiten des Substrats (bei Werten von 12 und 30 UPM) auf die Schichtstruktur untersucht (vgl insbes S 50 Bild 28, S 51 Abs 1/2, S 85 Bild 56). Die dem Ver-gleich zugrundeliegenden Versuche wurden aber jeweils mit weitgehend konstan-ten Parametern durchgeführt Bild 28: Temperatur 900 bis 950°C oder 1050 bis 1080°C, Rotationsgeschwindigkeit 12 UPM oder 30 UPM; Bild 56: Temperatur 0,4 Ts oder 0,46 Ts oder 0,55 Ts, Rotationsgeschwindigkeit 0 oder 12 UPM oder 30 UPM). Eine Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit im Verlauf des Verfah-rens von minimalen auf maximale Drehzahlen im Bereich von 1 bis 300 UPM ist in der Entgegenhaltung nicht angesprochen. Auch aus dem Hinweis auf eine Ände-rung der Kondensationsbedingungen durch eine zweistufige Beschichtung dre-hend/stehend oder umgekehrt (S 51 Abs 4) läßt sich eine derartige Variation nicht ableiten, da "stehend" der Umdrehungsgeschwindigkeit null, somit unterhalb von 1, entspricht, was im übrigen nach den Gleichungen (a) und (b) des Anspruchs 1 jeweils unendlich hohe Temperaturen ergeben würde. Die Entgegenhaltung (D8) lehrt ebenfalls nicht die Maßnahme, die Umdrehungs-geschwindigkeit im Verlauf des Verfahrens von minimalen auf maximale Drehzah-len kontinuierlich oder diskontinuierlich, sowie alternativ in wechselnden Drehrich-tungen zu variieren. Die in Spalte 5 Zeilen 9 bis 12 erwähnte Beobachtung, daß das Verhältnis der Beschichtungsdichte zu ihrer theoretischen Maximaldichte na-hezu linear ansteigt, wenn die Umdrehungsgeschwindigkeit von 10 auf 50 UPM ansteigt, ist zwanglos als auf einem Vergleich unterschiedlicher Beschichtungsvor-gänge mit jeweils konstanter Umdrehungsgeschwindigkeit beruhend zu verstehen. Eine Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit im Verlaufe eines einzigen Be-schichtungsvorgangs würde - insbesondere bei kontinuierlicher Variation - hin-sichtlich der Dichtebestimmung der einzelnen Lagen der Schicht und ihrer Zuord-nung zu einer bestimmten Umdrehungsgeschwindigkeit einen ungleich höheren experimentellen Aufwand erfordern, um eine solche Aussage zu ermöglichen. Die-se Auslegung wird durch die beiden Beispiele gestützt, nach denen jeweils mit konstanter Umdrehungsgeschwindigkeit gearbeitet wird (Sp 5 Z 56 bis 61, Sp 6 Z 11 bis 14 und Z 50 bis 52). Die (in Sp 5 Z 12/13) folgende Angabe "Reziproke - 11 - und andere Typen der Substratbewegung sind möglich" muß sich nach ihrem Wortlaut nicht auf die vorangehend beschriebene Rotation beziehen und beinhal-tet jedenfalls keine Anweisung, deren Geschwindigkeit im Verlauf der Beschich-tung von minimalen auf maximale Drehzahlen in wechselnden Drehrichtungen zu variieren. Auch aus dem sich anschließenden Hinweis auf eine (für die Gleichmä-ßigkeit und maximale Dichte bevorzugte) durchschnittliche Substratgeschwindig-keit von größer als 76 cm/min (Sp 5 Z 13 bis 16) ist die in Rede stehende Maß-nahme nicht abzuleiten, da dieser sich ersichtlich auf eine Lineargeschwindigkeit bezieht und ein Zusammenhang mit einer Umdrehungs- oder Winkelgeschwindig-keit nicht erkennbar ist. Entgegenhaltung (D9) enthält keine hierüber hinausgehenden Informationen. So-weit über die Auswirkungen unterschiedlicher Substratdrehgeschwindigkeiten be-richtet wird (insbes S 105 Abs 2, Brückenabs S 105/106, S 106 Abs 3 u S 107 Abs 2), beruht dies für den Fachmann aus dem Zusammenhang ersichtlich aus der Auswertung von mit unterschiedlichen, dabei jeweils konstanten Substratdreh-geschwindigkeiten erhaltenen Beschichtungen. Vergleichbares gilt für die in (D7) getroffenen Aussagen zum Parameter Rotationsgeschwindigkeit (vgl insbes S 138 f unter "Line-of-Sight and Rotation Effects an PVD TBC Microstructure" so-wie S 147 Fig 11). Das Dokument (D10) beschreibt zwar eine Parameteränderung im Verlauf eines Beschichtungsvorgangs. Hierbei handelt es sich aber nicht um die Umdrehungs-geschwindigkeit des Substrats, sondern um den Abstand der Beschichtungsquelle zur Substratoberfläche (S 8 Z 35/36; S 4 Z 48 bis 50). Die bereits im Prüfungsverfahren in Betracht gezogene Entgegenhaltung (D2) lehrt die Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit im Verlauf eines (einzigen) Be-schichtungsverfahrens. Dabei wird zwar nach Anspruch 1 von höheren auf niedri-gere Drehzahlen übergegangen; durch die Möglichkeit einer erneuten Bedamp-fung bei höheren Drehzahlen ist aber auch die Variation in Richtung auf maximale - 12 - Drehzahlen umfaßt (Ansprüche 3 und 4). Dieses Verfahren führt zur Ausbildung einer Beschichtung mit abwechselnd porösen und dichten Lagen (Anspruch 7 iVm Sp 5 Z 17 bis 22 u Z 33 bis 39, Sp 6 Z 21 bis 35 sowie Sp 6 Z 59 bis Sp 7 Z 2). Für den Fachmann ergibt sich daher kein Anhaltspunkt für bewußt oder unbewußt eingehaltene Korridore der (in D2 nicht spezifizierten) Substrattemperatur in Ab-hängigkeit von der Rotationsgeschwindigkeit, die zu einer Morphologie mit durch-gehend keulenartigen Kristallsäulen sowie gebogen-verschlungenen schlankeren Nachbarsäulen führen. Die weiteren dem Senat vorliegenden, in der mündlichen Verhandlung nicht mehr aufgegriffenen Druckschriften können die Neuheit des beanspruchten Verfahrens nicht in Frage stellen. 3. Das Verfahren nach dem geltenden Patentanspruch 1 beruht auch auf einer er-finderischen Tätigkeit. Wie unter II.1. im einzelnen ausgeführt, ist aus keiner der Entgegenhaltungen (D6) bis (D10) das Variieren der Umdrehungsgeschwindigkeit des Substrats innerhalb des Bereiches von 1 bis 100 UPM von minimalen auf maximale Drehzahlen konti-nuierlich oder diskontinuierlich sowie alternativ in wechselnden Drehrichtungen im Verlauf eines einzelnen Beschichtungsvorgangs abzuleiten. Demzufolge kann auch keine dieser Entgegenhaltungen zu einem Verfahren hinführen, welches ei-nen derartigen Schritt umfaßt. Nach (D2) wird zwar von einer Variation der Umdrehungsgeschwindigkeit in ein- und demselben Beschichtungsprozeß Gebrauch gemacht; Zielsetzung ist jedoch die Ausbildung von aufeinander geschichteten Lagen unterschiedlicher Porosität. - 13 - Demgegenüber ist es nicht vorhersehbar, daß bei Variation der Umdrehungsge-schwindigkeit innerhalb eines in Abhängigkeit von dieser durch die Gleichun-gen (a) und (b) definierten Temperaturkorridors eine Zirkoniumschicht gebildet wird, die durchgehende keulenartige Kristallsäulen sowie gebogen-verschlungene schlankere Nachbarsäulen umfaßt. Dabei handelt es sich nicht lediglich um eine möglicherweise ungewöhnliche, aber in der Auswirkung auf die technologischen Eigenschaften im Vergleich zu bekannten Strukturen belanglose Morphologie (et-wa iSv BGH GRUR 2001, 730 - Trigonellin; vgl auch Sonderausgabe Abl EPA 2000, 24 (3.3.1)); vielmehr ist in der geltenden Beschreibung überzeugend ausgeführt, daß gerade diese Struktur wesentlich zur Lösung der dem bean-spruchten Verfahren zugrunde liegenden Aufgabe - die kritische Haftfläche Me/MeO mit einer optimalen geringen Rauhigkeit auszulegen und die sich darauf abscheidende Wärmedämmschicht mit einer optimalen Schichtstruktur, die unab-hängig von der Rauhigkeit der Haftschicht einstellbar ist, aufzubringen - beiträgt (vgl S 3 Z 22 bis 24 iVm S 5 Z 15 bis 21 der geltenden Beschreibung). Der Senat vermag auch der Auffassung der Einsprechenden, eine derartige Mor-phologie mit den damit verbundenen Eigenschaften sei im Stand der Technik schon bekannt gewesen, nicht zu teilen. Die auf Seite 85 der (D6) in Bild 56 sche-matisch wiedergebogenen Strukturen, insbesondere für 0,4 Ts bei 30 UPM, auf die in diesem Zusammenhang besonders hingewiesen wurde, eignet sich hierfür nicht als Beleg. Im gezeigten Schnitt weisen die einzelnen Keulen zwar unterschiedliche Abmessungen auf (wie dies auch an den Bruchflächen b) nach den Bildern 26, 30 und 31 festzustellen ist). Diese unterschiedlichen Abmessungen ergeben sich aber rein aufgrund unterschiedlicher Wachstumsgeschwindigkeiten und unter-schiedlicher Anordnung der Kristallsäulen in Bezug auf die Bruchfläche. Von einer gezielten Ausbildung zweier unterschiedlicher Strukturelemente (bauchig-keulige und gebogen-verschlungene Säulen) ist an keiner Stelle der (D6) die Rede; dem-zufolge gibt es auch keinen Hinweis auf die vorteilhafte Auswirkung der engen Nachbarschaft von bauchig-keuligen und gebogen-verschlungenen Kristallsäulen. - 14 - Die Figuren 7 (b) auf Seite 144 der (D7) und 13 (c) auf Seite 42 der (D9) können zu keiner anderen Beurteilung führen; letztere scheint im übrigen gemäß (D6), Seite 24 Bild 10 (c) dem auf Seite 114 unter 119 referiertem Stand der Technik von 1967 zu entsprechen. Daß eine der weiteren dem Senat vorliegenden Druckschriften das beanspruchte Verfahren nahelegen oder Hinweise auf die danach erhältliche Schichtmorpholo-gie liefern könnte, ist weder geltend gemacht noch ersichtlich. 4. Das Verfahren nach dem geltenden Anspruch 1, dessen gewerbliche Anwend-barkeit außer Zweifel steht, weist somit alle Kriterien der Patentfähigkeit auf. Die-ser Anspruch ist daher rechtsbeständig. Die Ansprüche 2 bis 5 beziehen sich auf besondere Ausführungsarten des Verfah-rens nach dem geltenden Anspruch 1 und haben daher mit diesem Bestand. Die Patentfähigkeit der Verwendung nach Anspruch 6 wird sinngemäß von den für das Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5 ausgeführten Gründen getragen, auf dessen bevorzugtes Anwendungsgebiet der Beschichtung von Turbinenschaufeln Anspruch 6 gerichtet ist. Anspruch 6 ist somit ebenfalls rechtsbeständig. Bei dieser Sachlage war der angefochtene Beschluß aufzuheben und das Patent antragsgemäß beschränkt aufrechterhalten. Moser Wagner Harrer Feuerlein Pü
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