BPatG 15405.11BUNDESPATENTGERICHT17 W (pat) 123/08_______________(Aktenzeichen)Verkündet am26. Februar 2013…B E S C H L U S SIn der Beschwerdesachebetreffend die Patentanmeldung 10 2006 004 413.4-53…hat der 17. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf die mündliche Verhandlung vom 26. Februar 2013 unter Mitwirkung des Vorsitzenden Richters Dipl.-Phys. Dr. Morawek, der Richterin Eder, des Richters Dipl.-Ing. Baumgardt und des Richters Dipl.-Phys. Dr. Forkel- 2 -beschlossen:Die Beschwerde wird zurückgewiesen.G r ü n d eI.Die vorliegende Patentanmeldung wurde am 31. Januar 2006 in englischer Spra-che beim Deutschen Patent- und Markenamt eingereicht. Sie trägt in der deut-schen Übersetzung die Bezeichnung„Verfahren und System zum Disponieren eines Produktstromes in einer Ferti-gungsumgebung durch Anwendung eines Simulationsprozesses“.Die Anmeldung wurde am 8. September 2008 von der Prüfungsstelle für Klas-se G06F des Deutschen Patent- und Markenamtes mit der Begründung zurückge-wiesen, dass der Gegenstand des Patentanspruchs 1 nicht auf einer erfinderi-schen Tätigkeit beruhe.Gegen diesen Beschluss ist die Beschwerde der Anmelderin gerichtet.Die Anmelderin stellt den Antrag,den angegriffenen Beschluss aufzuheben und das nachgesuchte Patent mit folgenden Unterlagen zu erteilen:gemäß Hauptantrag mitPatentansprüchen 1 - 9 und- 3 -Beschreibung Seiten 4, 5, 16, 19, 22, 23, jeweils vom 10.11.2008, eingegangen am selben Tag,Beschreibung Seite 2 vom 13.07.2006, eingegangen am selben Tag,Beschreibung Seiten 1, 3, 6-15, 17, 18, 20, 21, 24 und5 Blatt Zeichnungen mit Figuren 1a-1g, jeweils vom 02.05.2006, eingegangen am selben Tag;gemäß Hilfsantrag 1 mitPatentansprüchen 1 - 9, überreicht in der mündlichen Verhand-lung,noch anzupassender Beschreibung und Figuren jeweils wie Hauptantrag;gemäß Hilfsantrag 2 mitPatentansprüchen 1 - 9, überreicht in der mündlichen Verhand-lung,im Übrigen wie Hilfsantrag 1.Im Prüfungsverfahren vor dem Deutschen Patent- und Markenamt ist die Druck-schriftD1: US 6 961 634 B1genannt worden. Vom Senat wurden zusätzlich die DruckschriftenD2: PRITSKER, A.; YANCEY, D.: Total Capacity Management Using Simula-tion, Proceedings of the 1991 Winter Simulation Conference, Seiten 348-355und- 4 -D3: ZIJM, W.; BUITENHEK, R.: Capacity Planning and Lead Time Manage-ment, International Journal of Production Economics 46-47 (1996), Sei-ten 165-179eingeführt.Der geltende Patentanspruch 1 gemäß Hauptantrag, hier mit einer möglichen Gliederung versehen, lautet (nach Korrektur eines offensichtlichen Schreibfehlers):„Verfahren mit:(a) Empfangen von Prozessinformation von mehreren Prozess-anlagen einer Fertigungsumgebung und von mehreren Pro-dukteinheiten, die Halbleiterbauelemente umfassen, in einem Eingangsbereich eines Disponiersystems zum Disponieren der Produkteinheiten, die in der Fertigungsumgebung gemäß mehreren Prozessrezepten zu bearbeiten sind oder gerade bearbeitet werden;(b) Initialisieren eines Simulationsmodells der Fertigungsumge-bung unter Verwendung der Prozessinformation;(c) Erstellen eines vorläufigen Zeitplans zum Bearbeiten der mehreren Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung;(d) Definieren eines zulässigen Wertebereichs für eine Warte-zeit;(e) Durchführen einer Simulation einer Prozesssequenz für die mehreren Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung auf der Grundlage des vorläufigen Zeitplans, der Prozessinfor-- 5 -mation, dem einen oder den mehreren Prozessrezepten und einem Modell für jede der mehreren Prozessanlagen, um eine Wartezeit für jede der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessanlagen mittels eines Simulationsergeb-nisses der Prozesssequenz zu bestimmen;(f) Bewerten, ob ein simulierter Wert der Wartezeit für jede der Produkteinheiten innerhalb des zulässigen Wertebereichs liegt;(g) Modifizieren des vorläufigen Zeitplans für mindestens eine der mehreren Produkteinheiten und mindestens einmal Aus-führen einer neuen Simulation auf der Grundlage des modifi-zierten vorläufigen Zeitplans, wenn die Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten innerhalb des zulässigen Waerte-bereichs liegt;(h) Erstellen eines Zeitplans zum Bearbeiten der mehreren Pro-dukteinheiten in der Fertigungsumgebung auf Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans; und(i) Ausgeben der mehreren Produkteinheiten in die Fertigungs-umgebung zur Bearbeitung der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessanlagen auf der Grundlage des Zeitplans.“Zum nebengeordneten Patentanspruch 6 und zu den Unteransprüchen 2 bis 5 und 7 bis 9 wird auf die Akte verwiesen.- 6 -Der geltende Patentanspruch 1 gemäß Hilfsantrag 1, hier mit einer an den Haupt-antrag angepassten Gliederung versehen, lautet:„Verfahren mit:(a) Empfangen von Prozessinformation von mehreren Prozess-anlagen einer Fertigungsumgebung und von mehreren Pro-dukteinheiten, die Halbleiterbauelemente umfassen, in einem Eingangsbereich eines Disponiersystems zum Disponieren der Produkteinheiten, die in der Fertigungsumgebung gemäß mehreren Prozessrezepten zu bearbeiten sind oder gerade bearbeitet werden;(b) Initialisieren eines Simulationsmodells der Fertigungsumge-bung unter Verwendung der Prozessinformation;(c) Erstellen eines vorläufigen Zeitplans zum Bearbeiten der mehreren Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung;(d*) Definieren einer maximal zulässigen Wartezeit zwischen zwei aufeinanderfolgenden Prozessen;(e*) Durchführen einer Simulation einer Prozesssequenz, die die genannten zwei Prozesse umfasst, für die mehreren Pro-dukteinheiten in der Fertigungsumgebung auf der Grundlage des vorläufigen Zeitplans, der Prozessinformation, dem einen oder den mehreren Prozessrezepten und einem Modell für jede der mehreren Prozessanlagen, um für jede der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessan-lagen mittels eines Simulationsergebnisses der Prozessse-- 7 -quenz einen simulierten Wert der Wartezeit zwischen den genannten zwei Prozessen zu bestimmen;(f*) Bewerten, ob der simulierte Wert der Wartezeit für jede der Produkteinheiten kleiner als die maximal zulässige Wartezeit ist;(g*) Modifizieren des vorläufigen Zeitplans für mindestens eine der mehreren Produkteinheiten durch Verzögern oder Vor-ziehen der mindestens einen der mehreren Produkteinheiten und mindestens einmal Ausführen einer neuen Simulation auf der Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans, wenn die Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten kürzer als die maximal zulässige Wartezeit ist;(h) Erstellen eines Zeitplans zum Bearbeiten der mehreren Pro-dukteinheiten in der Fertigungsumgebung auf Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans; und(i) Ausgeben der mehreren Produkteinheiten in die Fertigungs-umgebung zur Bearbeitung der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessanlagen auf der Grundlage des Zeitplans.“Zum nebengeordneten Patentanspruch 6 und zu den Unteransprüchen 2 bis 5 und 7 bis 9 wird wieder auf die Akte verwiesen.Der geltende Patentanspruch 1 gemäß Hilfsantrag 2, hier mit einer an den Hilfs-antrag 1 angepassten Gliederung versehen, lautet:- 8 -„Verfahren mit:(a) Empfangen von Prozessinformation von mehreren Prozess-anlagen einer Fertigungsumgebung und von mehreren Pro-dukteinheiten, die Halbleiterbauelemente umfassen, in einem Eingangsbereich eines Disponiersystems zum Disponieren der Produkteinheiten, die in der Fertigungsumgebung gemäß mehreren Prozessrezepten zu bearbeiten sind oder gerade bearbeitet werden;(b) Initialisieren eines Simulationsmodells der Fertigungsumge-bung unter Verwendung der Prozessinformation;(c) Erstellen eines vorläufigen Zeitplans zum Bearbeiten der mehreren Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung;(d**) Definieren einer gemäß einer Prozessspezifikation für die Bearbeitung der mehreren Produkteinheiten maximal zulässi-gen Wartezeit zwischen zwei aufeinanderfolgenden Prozes-sen;(e*) Durchführen einer Simulation einer Prozesssequenz, die die genannten zwei Prozesse umfasst, für die mehreren Pro-dukteinheiten in der Fertigungsumgebung auf der Grundlage des vorläufigen Zeitplans, der Prozessinformation, dem einen oder den mehreren Prozessrezepten und einem Modell für jede der mehreren Prozessanlagen, um für jede der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessan-lagen mittels eines Simulationsergebnisses der Prozessse-quenz einen simulierten Wert der Wartezeit zwischen den genannten zwei Prozessen zu bestimmen;- 9 -(f*) Bewerten, ob der simulierte Wert der Wartezeit für jede der Produkteinheiten kleiner als die maximal zulässige Wartezeit ist;(g*) Modifizieren des vorläufigen Zeitplans für mindestens eine der mehreren Produkteinheiten durch Verzögern oder Vor-ziehen der mindestens einen der mehreren Produkteinheiten und mindestens einmal Ausführen einer neuen Simulation auf der Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans, wenn die Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten kürzer als die maximal zulässige Wartezeit ist;(h) Erstellen eines Zeitplans zum Bearbeiten der mehreren Pro-dukteinheiten in der Fertigungsumgebung auf Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans; und(i) Ausgeben der mehreren Produkteinheiten in die Fertigungs-umgebung zur Bearbeitung der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessanlagen auf der Grundlage des Zeitplans.“Zum nebengeordneten Patentanspruch 6 und zu den Unteransprüchen 2 bis 5 und 7 bis 9 wird wieder auf die Akte verwiesen.Die Anmelderin trägt vor, dass das vorgeschlagene Verfahren der Bestimmung von Wartezeiten für Produkteinheiten (Waferlose) in der Halbleiterfertigung diene. Das Verfahren trage dem Umstand Rechnung, dass in der Halbleiterfertigung in der Regel Zeitfenster eingehalten werden müssten, so z. B. für Reinigungsvor-gänge an Öfen. Weiterhin sei es in Hinblick auf Durchsatz und Einhaltung der Pro-zessbedingungen wichtig, dass die Produkteinheiten an Prozessanlagen nicht zu lange warten müssten. Das vorgeschlagene Verfahren sei geeignet, die speziell in - 10 -der Halbleiterproduktion auftretenden Wartezeitbeschränkungen angemessen zu berücksichtigen.Die jeweiligen Gegenstände nach dem Patentanspruch 1 gemäß Haupt- und Hilfs-anträgen seien weder durch die Druckschrift D1 noch durch die vom Senat nach-benannten Druckschriften D2 und D3 nahegelegt und nicht nur neu, sondern wür-den auch auf erfinderischer Tätigkeit beruhen.II.Die Beschwerde wurde rechtzeitig eingelegt und ist auch sonst zulässig. Sie hat jedoch keinen Erfolg, weil die jeweiligen Gegenstände des Patentanspruchs 1 nach Haupt-, erstem und zweitem Hilfsantrag nicht auf einer erfinderischen Tätig-keit beruhen (§ 4 Satz 1 PatG).1. Die vorliegende Patentanmeldung betrifft ein Verfahren und ein System zum Disponieren eines Produktstromes in einer Fertigungsumgebung durch An-wendung eines Simulationsprozesses.In der Beschreibungseinleitung wird ausgeführt, dass sich die Erfindung insbeson-dere auf die Disponierung bzw. zeitliche Planung von Produktströmen in einer Halbleiterfertigungsstätte beziehe, in der Halbleiterwafer hergestellt würden. In einer solchen Fertigungsumgebung würden mehrere unterschiedliche Produktar-ten gefertigt und eine Mehrzahl von Prozess- und Messanlagen eingesetzt. In der Halbleiterherstellung sei entscheidend, modernste Technologie mit Massenher-stellungsverfahren zu kombinieren. Um die Kosten pro Produkteinheit zu senken, sei es für die Halbleiterhersteller wünschenswert, den Verbrauch von Rohmateria-lien und Verbrauchsmaterialien zu reduzieren, während gleichzeitig die Prozess-anlagenauslastung gesteigert werde. Gerade der zuletzt genannte Gesichtspunkt erweise sich als besonders wichtig, da in modernen Halbleiterfertigungsstätten - 11 -Anlagen erforderlich seien, die äußerst kostenintensiv seien und den wesentlichen Teil der Gesamtherstellungskosten repräsentieren würden. In Halbleiterfertigungs-stätten würde typischerweise eine Vielzahl unterschiedlicher Produktarten gleich-zeitig hergestellt, z. B. Speicherchips mit unterschiedlicher Gestaltung und Spei-cherkapazität oder CPU´s mit unterschiedlicher Gestaltung und Arbeitsgeschwin-digkeit. Für jede der unterschiedlichen Produktarten sei ein spezieller Prozessab-lauf erforderlich, wobei spezielle Einstellungen in den diversen Prozessanlagen notwendig würden, z. B. unterschiedliche Maskensätze für die Lithographie, unter-schiedliche Prozessparameter für Abscheideanlagen, Ätzanlagen, Implantations-anlagen, Polieranlagen oder Öfen (Offenlegungsschrift, Absatz [0004]). Eine Viel-zahl unterschiedlicher Anlagenparametereinstellungen und Produktarten seien gleichzeitig in einer Fertigungsumgebung anzutreffen. Die Parametereinstellungen seien den jeweiligen Prozessanlagen als sogenannte Prozessrezepte zu dem Zeit-punkt zuzuführen, an dem die entsprechenden Produktarten in den entsprechen-den Anlagen zu bearbeiten seien. Hierbei müsse die Sequenz aus solchen Pro-zessrezepten, die in Prozess- und Messanlagen ausgeführt würden, sowie die Rezepte selbst aufgrund kurzfristiger Produktänderungen oder aufgrund der vari-ablen beteiligten Prozesse oftmals geändert werden (Offenlegungsschrift, Ab-satz [0005]). Damit sich der Durchsatz in der Anlage durch die Änderungen nicht verschlechtere, würden in Halbleiterfertigungsstätten Ausgabelisten erstellt und verarbeitet, welche die Reihenfolge von Wafer-Losen, d. h. Substratgruppen, für eine gegebene Gruppe aus Prozessanlagen im Fertigungsprozess beschreiben, um eine effiziente Routenführung der Lose durch den Prozessablauf zu erhalten. Die Ausgabelisten würden auf dem aktuellen Zustand der Lose sowie der Anlage beruhen. Ein weiteres Mittel zum Erzeugen eines effektiven Produktstromes in einer Fertigungsumgebung bestehe in der Disposition und beinhalte die Berech-nung eines Zeitplanes für die Lose und Prozessanlagen innerhalb einer gewissen Zeitdauer. Auf der Grundlage des aktuellen Anlagen- und Losstatus könne der Zeitplan optimiert werden. Die beschriebene Disponierung bzw. Zeitplanung er-weise sich jedoch immer dann als nur bedingt geeignet, wenn Zeitpläne häufig aktualisiert werden müssten, z. B. bei Änderungen in der Anlagenverfügbarkeit - 12 -oder Prozessrezeptänderungen (Offenlegungsschrift, Absätze [0005]-[0006]). Ins-besondere könne es beim Fertigen der Produkteinheiten wegen der Komplexität der Prozessabläufe und deren Zusammenspiel zu Stillstandszeiten einzelner Pro-zessanlagen und zu Wartezeiten für einzelne Produkteinheiten kommen, die die Effizienz der Fertigung verschlechtern würden.Die der Anmeldung zugrundeliegende objektive technische Aufgabe sieht der Senat darin, einen optimierten Zeitplan zum Verarbeiten von Produkteinheiten in einer Fertigungsumgebung zu erstellen, anhand dessen die Produkteinheiten an die Fertigungsumgebung bzw. die Prozessanlagen übergeben werden und an-hand dessen die zeitliche Zuteilung der Produkteinheiten zu den Prozessanlagen gesteuert wird.Als Fachmann, der mit der Aufgabe betraut wird, die Effizienz eines Produktions-ablaufes zu verbessern, ist ein Ingenieur mit Hochschul- oder Fachhochschulab-schluss anzusehen, der über eine mehrjährige Berufserfahrung auf dem Gebiet der Steuerungstechnik, insbesondere in der Halbleiterfertigung, verfügt und der fundierte Kenntnisse in der Anwendung von Algorithmen für die Materialfluss-Simulation besitzt.2. Zum HauptantragDer Hauptantrag ist nicht gewährbar, weil der Gegenstand seines Patentan-spruchs 1 nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit beruht (§ 4 Satz 1 PatG).2.1 Der Patentanspruch 1 bedarf der Auslegung.Gegenstand ist ein Verfahren zum effizienten Bestimmen eines Zeitplanes für Produkteinheiten innerhalb einer Fertigungsumgebung mit mehreren Prozessan-lagen. Bei der Fertigungsumgebung handelt es sich um eine Halbleiterfertigungs-stätte, bei den Prozessanlagen um Abscheideanlagen, Ätzanlagen, Implantations-- 13 -anlagen oder Öfen. Die Produkteinheiten stellen Gruppen von Halbleiterbauele-menten dar.Hierzu sind die folgenden Verfahrensschritte vorgesehen:(a) Einem Produktdisponiersystem werden Prozessinformationen von mehreren Prozessanlagen einer Fertigungsumgebung zugeführt. Bei dem Disponiersystem handelt es sich offenbar um eine Datenverar-beitungsanlage, die mit einem übergeordneten Steuerungssys-tem (MES) verbunden ist und die einen Simulator sowie eine Pro-zessablaufdisponiereinheit umfasst. Die Prozessinformationen bein-halten Statusinformationen über Prozessanlagen und Produkteinhei-ten, die in der Fertigungsumgebung gemäß mehreren Prozessrezep-ten gerade bearbeitet werden oder zu bearbeiten sind. Der „Ein-gangsbereich“ bildet die Schnittstelle zwischen Prozessanlagen und Disponiersystem (Offenlegungsschrift, Absatz [0029]).(b) Ein Simulationsmodell der Fertigungsumgebung wird mit den Pro-zessinformationen initialisiert, d. h. dem Modell werden definierte Werte zugewiesen, um es auf einen Betriebszustand zu setzen, wie dies durch die Statusinformation angegeben ist. Das Simulationsmo-dell umfasst Anlageneigenschaften und Prozessspezifikationen (Of-fenlegungsschrift, Absatz [0032], Absatz [0029]).(c) Ein vorläufiger, erster Zeitplan für die Bearbeitung der Produkteinhei-ten in der Fertigungsumgebung wird erstellt.(d) Für an Prozessanlagen auftretende Wartezeiten wird ein zulässiger Wertebereich definiert.(e) Für die Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung wird die Simu-lation einer Prozesssequenz durchgeführt. Diese basiert auf dem vorläufigen Zeitplan, den eingesetzten Prozessrezepten und einem Modell für jede der Prozessanlagen. Mit Hilfe des Simulationsergeb-nisses wird eine Wartezeit für die Produkteinheiten in den Prozess-anlagen bestimmt.- 14 -(f) Für jede der Produkteinheiten wird überprüft, ob der simulierte Wert der Wartezeit innerhalb des zulässigen Wertebereichs liegt.(g) Falls die ermittelte Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten im zulässigen Wertebereich liegt, wird der vorläufige Zeitplan für min-destens eine der Produkteinheiten modifiziert und mindestens einmal eine neue Simulation ausgeführt.(h) Auf der Grundlage des modifizierten Zeitplans wird ein Zeitplan zum Bearbeiten der Produkteinheiten erstellt.(i) Auf der Grundlage des Zeitplans werden die Produkteinheiten in die Fertigungsumgebung zur Bearbeitung ausgegeben.2.2 Zur Beurteilung der beanspruchten Lehre ist die Druckschrift D2 von beson-derer Bedeutung.Aus Druckschrift D2 ist Folgendes entnehmbar:Die Druckschrift D2 offenbart ein umfassendes Kapazitätsverwaltungssystem in einer Fertigungsumgebung (TCM - Total Capacity Management), welches auf einer Prozessmodellierung und -simulation beruht (Seite 348 Abstract). Das dort beschriebene System beinhaltet insbesondere eine Ablaufplanung zur Bereitstel-lung von Kapazitäten (Capacity Scheduling - Seite 349, linke Spalte) sowie zur Durchführung der eigentlichen Produktion (Production Scheduling - Seite 349, linke Spalte). Das simulationsbasierte TCM verwendet ein Modell der Herstel-lungsprozesse, um den Durchsatz der Fertigungsumgebung gemäß den Prozess-plänen und den Betriebsmittelzuweisungen abzuschätzen (Seite 349, Abschnitt „Simulation-Based TCM“ - Seite 349, rechte Spalte, erster Absatz). Ist der Bedarf an Betriebsmitteln im Herstellungsprozess ermittelt, kann eine genaue Zeitplanung für die Produktion durchgeführt werden. Die Simulation verwendet hierbei das Modell, um den abzuarbeitenden Jobs die verfügbaren Betriebsmittel zu bestimm-ten Zeitpunkten zuzuweisen. Da das Modell die genauen Prozessschritte enthält, können Anfangs- und Endzeitpunkte für jeden Arbeitsvorgang angegeben werden, - 15 -so dass eine Zeitplanung für den Bedarf an Betriebsmitteln vorgenommen werden kann, welche dann zur Erstellung von Auslieferungslisten führt. Diese beinhalten Angaben, wann welcher Job mit welchen Betriebsmitteln abgearbeitet wird (Sei-te 349, rechte Spalte, dritter Absatz, siehe „dispatch lists detailing the schedule time to perform each job with required resources and material prescribed“).Der Druckschrift D2 entnimmt der Fachmann damit ein Verfahren zur Bestimmung eines Zeitplanes für Produkteinheiten innerhalb einer Fertigungsumgebung (Sei-te 349, rechte Spalte, dritter Absatz). Dem vorgestellten TCM-System werden für eine Simulation bzw. für die Bestimmung von Zeitplänen Prozessinformationen zugeführt (Seite 351, linke Spalte, erster Absatz, siehe „information on process plans, orders, equipment characteristics, operational data, other modelling tools, and current status“). Die Prozessinformationen beziehen sich auf die Prozessan-lagen einer Fertigungsumgebung und die dort zu verarbeitenden Produkteinheiten (Seite 349, rechte Spalte, letzter Absatz, siehe „Data on operational status is fed back to scheduling and schedule management …“ sowie Seite 349, linke Spalte, fünfter Absatz, siehe „Production Scheduling is performed to develop accurate, achievable work plans of the short term by assigning jobs to workstations in a specific sequence.“). Das TCM fungiert in diesem Sinne als Disponiereinheit, d. h. es verfügt über die Funktionalität, den einzelnen Jobs, die die Produkteinheiten repräsentieren, Betriebsmittel zuzuweisen (Seite 349, rechte Spalte, zweiter Ab-satz, siehe „by simulating the model to allocate available resources … to the actual jobs …“). Die Jobs bzw. Produkteinheiten werden mit den an den Pro-zessanlagen eingestellten Parametern, die die Prozessrezepte innerhalb der Fer-tigungsumgebung bilden, abgearbeitet (Seite 349, rechte Spalte, dritter Absatz, siehe „dispatch lists detailing the schedule time to perform each job with required resources and material prescribed. In addition, methods for improving the scheduling process through the collection of data and the parameterizing of rules to improve the scheduling process is part of TCM.“). Dass das in der Druck-schrift D2 in den Abschnitten 1 bis 4 allgemein beschriebene simulationsbasierte - 16 -TCM auch in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden kann, wird vom Fachmann mitgelesen (Merkmal (a)).In der Druckschrift D2 kommt ein Simulationsmodell zur Anwendung, welches die Fertigungsumgebung beschreibt (Seite 349, linke Spalte, letzter Absatz - Sei-te 349, rechte Spalte, erster Absatz, siehe „Capacity design within TCM involves the use of a model of manufacturing operations to estimate the performance of the manufacturing system …“). Es ist selbstverständlich, dass dieses Modell vor der Durchführung einer Simulation initialisiert, d. h. auf einen definierten Betriebszu-stand gesetzt werden muss, der idealerweise auf aktuellen betrieblichen Daten („operational data“) als Prozessinformation beruht (Merkmal (b)).Die TCM Architektur sieht auch die Erstellung zumindest eines vorläufigen Zeit-plans für die Bearbeitung von Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung vor,der Anfangs- und Endzeitpunkt jedes Prozessschritts festlegt (Seite 349, rechte Spalte, zweiter Absatz, siehe „Since the model contains the detailed process plans (jobsteps), the start and completion times of each operation can be established …“) und der den Ausgangspunkt für eine Simulationsrechnung bildet (Seite 349, rechte Spalte, zweiter Absatz, siehe „detailed production and logistics scheduling can be accomplished by simulating the model to allocate available resources …“ -Merkmal (c)).Die Simulationsrechnung wird für eine ganze Prozesssequenz („process plans“ mit „jobsteps“) für die Produkteinheiten in der Fertigungsumgebung durchgeführt; sie berücksichtigt neben dem vorläufigen Zeitplan noch die betrieblichen Daten als Prozessinformation (Seite 349, rechte Spalte, zweiter Absatz, siehe „…schedule management which entails the use of current operational status …“), die vorhan-denen Prozessrezepte (Seite 349, rechte Spalte, dritter Absatz, siehe „…methods for improving the scheduling process through the collection of data and the para-meterizing of rules to improve the scheduling process is part of TCM.“) und das Modell für die Prozessanlagen in der Fertigungsumgebung (Seite 349, linke Spal-- 17 -te, letzter Absatz, siehe „Capacity design within TCM involves the use of a model of manufacturing operations …“ - teilweise Merkmal (e)).Um die Simulationsrechnung an sich ändernde Betriebsbedingungen anzupassen und um kritische Prozessbeschränkungen zu berücksichtigen, wird der vorläufige Zeitplan für die Produkteinheiten („jobs“) in einem „Schedule Management“ geän-dert bzw. modifiziert (Seite 349, rechte Spalte, zweiter Absatz, siehe „These schedules can then be distributed for schedule management which entails the use of current operational status and knowledge of critical issues to adjust the schedule.“). Auf Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans werden in einem iterativen Verfahren neue Simulationen durchgeführt mit dem Ziel, die Zu-weisungen von Betriebsmitteln an die Produkteinheiten genauer zu bestimmen (Seite 349, rechte Spalte, letzter Absatz, siehe „Data on operational status is fed back to scheduling and schedule management in order to determine the frequency with which new schedules need to be prepared.“ - teilweise Merkmal (g)).Am Ende der durchgeführten Simulationen stehen Zeitpläne, die sich aus dem modifizierten vorläufigen Zeitplan ableiten und die als „dispatch lists“ angeben, wann welche Produkteinheiten bzw. Jobs an welche Betriebsmittel zur Bearbei-tung übergeben werden (Seite 349, rechte Spalte, letzter Absatz, siehe „The dispatch lists are the basis for schedule execution/dispatching, that is, the actual resource allocations to jobs.“ - Merkmal (h)).Die hierauf basierende Ausgabe der Produkteinheiten wird vom Fachmann in der Druckschrift D2 mitgelesen (Merkmal (i)).Die Bestimmung einer Wartezeit für jede der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessanlagen mittels eines Simulationsergebnisses der Prozess-sequenz sowie das Ausführen einer neuen Simulation, wenn die Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten innerhalb eines zulässigen Wertebereichs liegt i. S. d. Merkmale (e) und (g), sind der Druckschrift D2 aber nicht direkt entnehm-- 18 -bar. Entsprechendes gilt für das Merkmal (d), wonach ein zulässiger Wertebereich für eine Wartezeit definiert werden muss und für das Merkmal (f), wonach bewer-tet wird, ob ein simulierter Wert der Wartezeit für jede der Produkteinheiten inner-halb des zulässigen Wertebereichs liegt.2.3 Zu Recht weist die Anmelderin darauf hin, dass sich die Lehre des Patent-anspruchs 1 nach Hauptantrag von der Lehre der Druckschrift D2 in einigen Punk-ten unterscheidet. Diese Unterschiede vermögen das Vorliegen einer erfinderi-schen Tätigkeit jedoch nicht zu begründen (§ 4 Satz 1 PatG).Insbesondere soll anspruchsgemäß für jede der Produkteinheiten in den Prozess-anlagen eine Wartezeit bestimmt werden, die anhand eines vorgegebenen, zuläs-sigen Wertebereichs bewertet wird, wobei die Simulation der Prozesssequenz dann wiederholt wird, wenn der Wert der Wartezeit nicht für jede der Produktein-heiten innerhalb des zulässigen Wertebereichs liegt. Mit der Wartezeit wird in der Anmeldung eine Prozessbeschränkung berücksichtigt, die sich aus einer einge-schränkten Anlagenverfügbarkeit infolge von Wartungsmaßnahmen und Testakti-vitäten ergibt (Offenlegungsschrift, [0028]). Andere Wartezeiten resultieren laut Anmeldung aus dem Warten auf Lithographiemasken oder dem Warten auf Ver-vollständigung eines Stapels (Offenlegungsschrift, [0035]). Gemäß der Druck-schrift D2 wird das Modell für den Herstellungsprozess auch erstellt, um die Per-formanz, d. h. den Durchsatz in der Fertigungsumgebung zu ermitteln (Seite 349, linke Spalte, letzter Absatz - Seite 349, rechte Spalte, erster Absatz, siehe „Capacity design within TCM involves the use of a model of manufacturing opera-tions to estimate the performance of the manufacturing system …“). Nach fach-männischem Verständnis stellt der Durchsatz eine Funktion der Gesamtdurch-laufzeiten für die Produkteinheiten dar.Dem Fachmann sind jedoch Wartezeit und Durchlaufzeit als prozessrelevante physikalische Größen vertraut. Die Auswahl, hinsichtlich welcher der beiden Grö-ßen die Simulation einer Prozesssequenz optimiert werden soll, bedarf nur der - 19 -Abwägung der bekannten Vor- und Nachteile, stellt daher nicht mehr als eine fach-männische Maßnahme dar. Hierzu kann als Beispiel auf die o. g. Druckschrift D1verwiesen werden, welche sich mit einem „Wetdeck“ Prozess in der Halbleiterwa-ferherstellung befasst, wobei der Prozess eine vollautomatisierte Batchanlage zum nasschemischen Reinigen oder Oberflächenätzen von Siliziumwafern vor deren weiterer Verarbeitung betrifft. Die Druckschrift D1 geht in ihrer Einleitung auf die Bedeutung von Warte- und Durchlaufzeit in der Halbleiterfertigung ein (Spalte 3, Zeilen 15-52). Mit Einführung einer Wartezeit können u. a. Zeitfenster für Reini-gungsvorgänge in Öfen berücksichtigt werden, was aber zu Lasten der Durchlauf-zeit und damit des Durchsatzes geht (Spalte 3, Zeilen 25-32). Wenn solche Zeit-fenster gar nicht beachtet werden, kann zwar die Durchlaufzeit verringert und folg-lich der Durchsatz erhöht werden, jedoch wird auch der Ausschuss in der Ferti-gung erhöht (Spalte 3, Zeilen 33-37). Dies belegt, dass dem Fachmann eine sol-che abwägende Sichtweise geläufig war (Merkmal (e)).Weiterhin gehört es zum Grundwissen des zuständigen Fachmannes, dass die teilweise nach statistischen Methoden berechneten Wartezeiten immer einer Feh-lerbetrachtung unter der Annahme von Standardabweichungen und Toleranzgren-zen unterworfen werden müssen, um ihre Bedeutung im Prozessablauf richtig bewerten zu können. Die Festlegung von Toleranzgrenzen bzw. von Werteberei-chen für prozessrelevante Größen stellt hierbei ein geeignetes Mittel aus der Sta-tistik dar, um vorgegebene Prozessabläufe in ihrem Zeitverhalten zu überprüfen und - falls nötig - Simulationen erneut durchzuführen oder gar das zugrundelie-gende Modell anzupassen, wenn vorgegebene Schwellwerte über- oder unter-schritten werden (Merkmale (d), (f) und (g)).Ferner erläuterte die Anmelderin, dass sich die Druckschrift D2 auf die Metallver-arbeitung bzw. Stahlerzeugung beziehe und keinen Bezug zur Halbleiterfertigung herstelle. Somit werde in der Druckschrift D2 auch kein Verfahren beschrieben, welches die in der Halbleiterfertigung auftretenden Problem wie z. B. Wartezeitbe-schränkungen angemessen behandeln könne.- 20 -Dieser Einwand vermochte den Senat nicht zu überzeugen. Zwar ist der Anmelde-rin insoweit zu folgen, als dass das in der Druckschrift D2 beschriebene Simulati-onsverfahren anhand eines Herstellungsverfahrens für Verdichterschaufeln an Kompressoren sowie anhand einer Stahlproduktion weiter veranschaulicht wird. Das in der Druckschrift allgemein formulierte simulationsbasierte TCM Verfahren bleibt in seiner Anwendung jedoch nicht auf die genannten zwei Beispiele be-schränkt, sondern kann mit „Production Scheduling“ und „Schedule Adjustment“ auf beliebige Prozessabläufe, z. B. auch in der Halbleiterfertigung angewandt wer-den.Nach allem waren für den Fachmann lediglich fachgemäße Überlegungen erfor-derlich, um in Kenntnis der Druckschrift D2 zu einem Verfahren mit sämtlichen Merkmalen des Patentanspruchs 1 in der Fassung des Hauptantrags zu gelangen.2.4 Mit dem Patentanspruch 1 fallen auch die übrigen Patentansprüche, da über einen Antrag nur einheitlich entschieden werden kann.3. Zum Hilfsantrag 1Der Hilfsantrag 1 ist nicht gewährbar, weil der Gegenstand seines Patentan-spruchs 1 nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit beruht (§ 4 Satz 1 PatG).3.1 Der Gegenstand des Patentanspruchs 1 nach Hilfsantrag 1 unterscheidet sich von Patentanspruch 1 nach Hauptantrag (Unterschiede unterstrichen) in denMerkmalen(d*) Definieren einer maximal zulässigen Wartezeit zwischen zwei aufeinanderfolgenden Prozessen;(e*) Durchführen einer Simulation einer Prozesssequenz, die die genannten zwei Prozesse umfasst, für die mehreren Pro-- 21 -dukteinheiten in der Fertigungsumgebung auf der Grundlage des vorläufigen Zeitplans, der Prozessinformation, dem einen oder den mehreren Prozessrezepten und einem Mo-dell für jede der mehreren Prozessanlagen, um für jede der mehreren Produkteinheiten in den mehreren Prozessanlagen mittels eines Simulationsergebnisses der Prozesssequenz einen simulierten Wert der Wartezeit zwischen den genann-ten zwei Prozessen zu bestimmen;(f*) Bewerten, ob der simulierte Wert der Wartezeit für jede der Produkteinheiten kleiner als die maximal zulässige Wartezeit istund(g*) Modifizieren des vorläufigen Zeitplans für mindestens eine der mehreren Produkteinheiten durch Verzögern oder Vor-ziehen der mindestens einen der mehreren Produkteinheitenund mindestens einmal Ausführen einer neuen Simulation auf der Grundlage des modifizierten vorläufigen Zeitplans, wenn die Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten kürzer als die maximal zulässige Wartezeit ist.Die Merkmale (d*) und (e*) betreffen im Wesentlichen nichts anderes, als dass zwischen zwei aufeinanderfolgenden Prozessen bzw. Bearbeitungsfolgen eine maximal zulässige Wartezeit für die Produkteinheiten festgelegt wird und in der Simulation der Prozesssequenz die Wartezeit zwischen zwei Prozessen bestimmt wird. Weiterhin wird dementsprechend gemäß Merkmal (f*) beurteilt, ob die simu-lierte Wartezeit für jede Produkteinheit kleiner als die maximal zulässige Wartezeit ist. Merkmal (g*) sieht vor, neue Simulationen immer dann durchzuführen, wenn die bestimmte Wartezeit nicht für jede der Produkteinheiten kleiner als die maxi-- 22 -mal zulässige Wartezeit ist, wobei in den eingegebenen Zeitplänen Produktein-heiten in der Bearbeitungsreihenfolge verzögert oder vorgezogen werden.3.2 Der Hilfsantrag 1 kann nicht anders als der Hauptantrag beurteilt werden, weil diese Merkmale das Vorliegen einer erfinderischen Tätigkeit nicht begründen können.Der hier zuständige Fachmann entnimmt den Merkmalen (d*), (e*) und (f*) eine Präzisierung des Wertebereichs für die zulässige Wartezeit in Verbindung mit einer Konkretisierung der Wartezeit (die jetzt zwischen zwei aufeinanderfolgenden Prozessen genommen werden soll), was aber gegenüber den entsprechenden Merkmalen (d), (e) und (f) keinen zusätzlichen technischen Beitrag erkennen lässt. Die Merkmale (d*), (e*) und (f*) können demnach nicht anders als diese beurteilt werden. Die dortigen Ausführungen gelten in gleicher Weise.Weiterhin ist dem zuständigen Fachmann in Hinblick auf Merkmal (g*) bereits auf-grund seines technischen Allgemeinwissens geläufig, dass in der Halbleiterferti-gung genauso wie in jeder anderen Fertigungsumgebung Prioritäten für die Bear-beitung von Produkteinheiten bzw. Jobs neu gesetzt werden müssen, falls dies die Einhaltung vertraglich vereinbarter Fertigstellungstermine erforderlich machen soll-te. Für den Fachmann lag es daher auf der Hand, eine solche Maßnahme zur zeit-lichen Änderung von Bearbeitungsreihenfolgen auch innerhalb von Zeitplänen vor-zusehen, die als Eingangsgrößen für die Simulation von Prozesssequenzen die-nen.Lediglich zum druckschriftlichen Beleg dafür, dass der Fachmann das Verzögern oder Vorziehen von Produkteinheiten in Simulationen von Prozesssequenzen anwendet, wird auf die Druckschrift D3 verwiesen (Seite 170, linke Spalte, erster Absatz, siehe „Delayed precedence constraints are needed, for instance, when two operations on one machine concern the same job.“).- 23 -3.3 Mit dem Patentanspruch 1 gemäß Hilfsantrag 1 fallen zwangsläufig auch die Patentansprüche 2 bis 9, da über einen Antrag nur einheitlich entschieden werden kann.4. Zum Hilfsantrag 2Der Hilfsantrag 2 ist nicht gewährbar, weil der Gegenstand seines Patentan-spruchs 1 nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit beruht (§ 4 Satz 1 PatG).4.1 Der Gegenstand des Patentanspruchs 1 nach Hilfsantrag 2 unterscheidet sich von Patentanspruch 1 nach Hilfsantrag 1 (Unterschied unterstrichen) durch das Merkmal(d**) Definieren einer gemäß einer Prozessspezifikation für die Bearbeitung der mehreren Produkteinheiten maximal zuläs-sigen Wartezeit zwischen zwei aufeinanderfolgenden Pro-zessen.Das Merkmal (d**) betrifft die Festlegung einer maximal zulässigen Wartezeit zwi-schen zwei aufeinanderfolgenden Prozessen bzw. Bearbeitungsfolgen, die nun-mehr in Übereinstimmung mit einer Prozessspezifikation stattfinden soll. Dabei stellt die Prozessspezifikation nach fachmännischem Verständnis eine formali-sierte Beschreibung des gesamten Prozessablaufs und der darin auftretenden Anforderungen dar.4.2 Der Hilfsantrag 2 kann nicht anders als der Hilfsantrag 1 beurteilt werden, weil dieses Merkmal das Vorliegen einer erfinderischen Tätigkeit nicht begründen kann.- 24 -Das Merkmal ergibt sich bereits zwangsläufig aus der Tatsache, dass jedem Simulationsmodell, welches einen Prozessablauf in einer Fertigungsstätte abbil-den soll, eine entsprechende Prozessspezifikation zugrundeliegen muss, die die einzelnen Prozesse, deren Abhängigkeiten und Reihenfolge und somit auch die Wartezeiten begrifflich erfasst.Im Übrigen entnimmt der Fachmann bereits der Druckschrift D2 ein Simulations-modell, welches auf Prozessplänen („process plans“) beruht, die eine solche Pro-zessspezifikation darstellen (Seite 349, rechte Spalte, erster Absatz, siehe „Pro-cess plans can be included in a model and would specify the jobsteps including resource and material requirements to make the product.“).4.3 Mit dem Patentanspruch 1 gemäß Hilfsantrag 2 fallen zwangsläufig auch die übrigen Patentansprüche, da über einen Antrag nur einheitlich entschieden werden kann.III.Nachdem keiner der gestellten Anträge Erfolg hatte, war die Beschwerde der Anmelderin gegen den Zurückweisungsbeschluss der Prüfungsstelle für Klas-se G06F des Deutschen Patent- und Markenamtes zurückzuweisen.Dr. Morawek Eder Baumgardt Dr. ForkelFa
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