21 W (pat) 21/13  - 21. Senat (Techn.Beschw.)

BPatG 152 08.05 BUNDESPATENTGERICHT 21 W (pat) 21/13 _______________________ (Aktenzeichen) B E S C H L U S S In der Beschwerdesache betreffend die Patentanmeldung 102 31 426.8-54 … hat der 21. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts am 14. April 2015 unter Mitwirkung des Vorsitzenden Richters Dipl.-Phys. Dr. Häußler, der Richterin Hartlieb, des Richters Dipl.-Phys. Dr. Müller und der Richterin Dipl.-Phys. Zimmerer - 2 - beschlossen: Auf die Beschwerde der Anmelderin wird der Beschluss der Prü-fungsstelle für Klasse H 01 J des Deutschen Patent- und Marken-amts vom 14. Februar 2012 aufgehoben und das Patent 102 31 426 erteilt. Bezeichnung: Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration Anmeldetag: 11. Juli 2002 Priorität: JP 01-213697 (13. Juli 2001). Der Erteilung liegen folgende Unterlagen zugrunde: Patentansprüche 1 bis 3, eingegangen mit Schriftsatz vom 24. Februar 2015 Beschreibung S. 1 bis 11 eingegangen mit Schriftsatz vom 13. Januar 2010 Figuren 1 bis 6 gemäß Offenlegungsschrift. - 3 - G r ü n d e I Die Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 102 31 426.8 wurde am 11. Juli 2002 unter der Bezeichnung „Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aber-ration“ beim Deutschen Patent- und Markenamt von der J… Ltd. in A…, T…, angemeldet. Es wurde die JP-Priorität 01-213697 vom 13. Juli 2001 in Anspruch genommen, die Veröffentlichung der Patentanmeldung erfolgte am 27. Februar 2003. Die Prüfungsstelle für Klasse H 01 J hat die Anmeldung aus den Gründen des Be-scheides vom 8. Dezember 2010 am 14. Februar 2012 zurückgewiesen, da sich die Gegenstände der Patentansprüche 1 bis 3 gemäß der Eingabe vom 7. September 2010 mangels erfinderischer Tätigkeit als nicht patentfähig erwie-sen. Im Prüfungsverfahren sind folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: D1 DE 197 39 290 A1 D2 WO 99/30342 A1. Gegen den Beschluss der Prüfungsstelle richtet sich die Beschwerde der Anmel-derin vom 8. März 2012, die mit Schriftsätzen vom 8. Mai 2013 und vom 24. Februar 2015 sinngemäß beantragt, den Beschluss der Prüfungsstelle aufzuheben und die Erteilung des Patents zu beschließen, auf der Grundlage der Patentansprüche 1 bis 3 vom 24. Februar 2015, hilfsweise auf Basis zweier beliebiger der Ansprüche 1 bis 3, d. h. der Ansprüche 1 und 2, - 4 - der Ansprüche 1 und 3 oder der Ansprüche 2 und 3, weiter hilfsweise eine mündliche Verhandlung durchzuführen. Der mit Gliederungspunkten versehene, ansonsten wörtlich wiedergegebene gel-tende Patentanspruch 1 lautet: 1 Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aber-ration zur Verwendung in einem Elektronenmikroskop, mit 1.1 zwei mehrpoligen Elementen (8, 9) 1.2 zwei axialsymmetrischen Linsen (10, 11), die zwischen den beiden mehrpoligen Elementen angeordnet sind, gekennzeichnet durch 1.3 eine Drehkorrekturlinse (12), 1.3.1 die in der Brennebene einer Elektronenbahn ange-ordnet ist, die zwischen den axialsymmetrischen Lin-sen (10, 11) verläuft, 1.3.2 wobei die Drehkorrekturlinse (12) zur Korrektur der Drehbeziehung in einer Ebene senkrecht zur opti-schen Achse zwischen den mehrpoligen Elemen-ten (8,9) die Elektronen in dieser Ebene dreht. Der geltende nebengeordnete Patentanspruch 2 lautet: Verfahren zur Korrektur der sphärischen Aberration in einem Elek-tronenmikroskop unter Verwendung einer Korrektureinrichtung mit zwei mehrpoligen Elementen (8, 9), zwei axialsymmetrischen Lin-sen (10, 11), die zwischen den beiden mehrpoligen Elementen an-geordnet sind, und einer Drehkorrekturlinse (12), die in der Brenn-- 5 - ebene einer Elektronenbahn, die zwischen den axialsymmetri-schen Linsen verläuft, angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass zur Korrektur der Drehbeziehung zwischen den mehrpoligen Ele-menten (8,9) in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse zwi-schen den mehrpoligen Elementen (8,9) die Elektronen in dieser Ebene mittels der Drehkorrekturlinse (12) gedreht werden, wobei der Phasenwinkel der mehrpoligen Elemente (8,9) konstant bleibt. Der geltende nebengeordnete Patentanspruch 3 lautet: Verwendung einer Korrektureinrichtung mit zwei mehrpoligen Ele-menten (8, 9), zwei axialsymmetrischen Linsen (10, 11), die zwi-schen den beiden mehrpoligen Elementen angeordnet sind, und einer Drehkorrekturlinse (12), die in der Brennebene einer Elektro-nenbahn, die zwischen den axialsymmetrischen Linsen verläuft, angeordnet ist, und die zur Korrektur der Drehbeziehung zwischen den mehrpoligen Elementen (8,9) in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse zwischen den mehrpoligen Elementen (8,9) die Elektronen in dieser Ebene dreht, zur Korrektur der sphärischen Aberration in einem Elektronenmikroskop ohne Änderung der Pha-senwinkel der mehrpoligen Elemente (8,9). Wegen weiterer Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen. - 6 - II Die Beschwerde ist zulässig, insbesondere ist sie statthaft sowie form- und fristge-recht eingelegt (§ 73 Abs. 1, Abs. 2 PatG). Sie hat mit dem geänderten Patentbegehren Erfolg, denn die beanspruchte Kor-rektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration, das beanspruchte Ver-fahren zur Korrektur der sphärischen Aberration und die beanspruchte Verwen-dung einer Korrektureinrichtung ergeben sich für den Fachmann nicht in nahe lie-gender Weise aus dem Stand der Technik (§ 4 PatG). 1. Die Erfindung betrifft eine Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration zur Verwendung in einem Elektronenmikroskop (siehe Offenlegungs-schrift Abs. [0001]). Bei einer bekannten Aberrationskorrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration in Linsen, die in ein Elektronenmikroskop aufgebaut ist, sind zwei axial-symmetrische Linsen zwischen zwei mehrpoligen Elementen angeordnet, die sechspolige Felder erzeugen. Es ist nach der Beschreibungseinleitung zu beach-ten, dass die „axialsymmetrische Linse“ so ausgebildet ist, dass die Geometrie der Linseneigenschaften durch die Drehung der Linse um die optische Achse nicht be-einträchtigt wird (siehe Offenlegungsschrift Abs. [0002]). Als Stand der Technik wird in der Streitpatentanmeldung anhand der Fig. 3 der Aufbau des Beleuchtungssystems eines Elektronenmikroskops erläutert (siehe Of-fenlegungsschrift Abs. [0003] bis [0004)). - 7 - Nach den Ausführungen in der Beschreibungseinleitung sei es bei der Korrektur-optik zur Korrektur der sphärischen Aberration jedoch notwendig, bestimmte An-ordnungsbedingungen unter Anwendung axialsymmetrischer Linsen mit der glei-chen Brennweite zu realisieren. Es sei daher nicht möglich, die Vergrößerung mit-tels der Korrekturoptik zu verändern. Außerdem müssen die mehrpoligen Elemen-te der Korrekturoptik so angeordnet sein, dass keine Drehbeziehung um die opti-sche Achse in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse besteht. Es sei daher notwendig, die durch Herstellungs- und Montagetoleranzen hervorgerufene Dreh-beziehung durch Steuerung der Erregung der mehrpoligen Elemente und Drehung des Phasenwinkels des wirksamen Feldes zu korrigieren (vgl. Offenlegungsschrift Abs. [0005] bis [0006]). Vor diesem Hintergrund liegt der vorliegenden Erfindung die in der Patentanmel-dung angegebene Aufgabe zugrunde, die genannten Probleme zu lösen und eine Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration zu schaffen, die in einem Elektronenmikroskop verwendet werden kann und es ermöglicht, die Ver-größerung mittels der Korrekturoptik zur Korrektur des sphärischen Aberration zu ändern. Außerdem soll die Korrektur die Drehbeziehung zwischen den mehrpoli-gen Elementen in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse ohne Änderung der Phasenwinkel der mehrpoligen Elemente korrigieren (vgl. Offenlegungsschrift Abs. [0007]). Die Lösung der Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Drehkorrekturlinse zwischen den axialsymmetrischen Linsen, die zwischen den beiden mehrpoligen Elementen angeordnet sind, erreicht (vgl. Offenlegungsschrift Abs. [0009] und An-sprüche 1 und 3). Weiter wird die Aufgabe erfindungsgemäß mit einem Verfahren zur Korrektur der sphärischen Aberration nach Anspruch 2 und der Verwendung einer Korrektureinrichtung nach Anspruch 3 gelöst. - 8 - Die Figur 1 der Patentanmeldung zeigt die erfindungsgemäße Lösung mit der Drehkorrekturlinse (12), die in der Brennebene einer Elektronenbahn angeordnet ist, die zwischen den axialsymmetrischen Linsen (10, 11) verläuft: 2. Die geltenden Patentansprüche sind zulässig, da ihre Merkmale in den ur-sprünglichen Anmeldeunterlagen jeweils als zur Erfindung gehörend offenbart sind. 3. Als Fachmann auf dem vorliegenden technischen Gebiet wird ein berufserfahre-ner Diplom-Physiker mit mehrjähriger Erfahrung in der Entwicklung von Korrektur-vorrichtungen elektronenoptischer Bildfehler zur Verwendung in einem Elektronen-mikroskop angesehen. 4. Die Vorrichtung gemäß dem geltenden Anspruch 1 ist neu und beruht auch auf einer erfinderischen Tätigkeit. Die Ausbildung einer zusätzlichen Drehkorrekturlinse gemäß den Merkmalen 1.3, 1.3.1 und 1.3.2 in einer Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberra-tion mit zwei mehrpoligen Elementen und zwei axialsymmetrischen Linsen ist aus dem im Verfahren befindlichen Stand der Technik nicht offenbart und es ergibt sich hierfür auch keine Anregung. - 9 - Für die Beurteilung der erfinderischen Tätigkeit ist die Druckschrift D1 heranzuzie-hen, die ein Verfahren zur Beseitigung axialer Bildfehler erster, zweiter und dritter Ordnung bei Korrektur des Öffnungsfehlers dritter Ordnung in elektronen-opti-schen Systemen zeigt (vgl. D1 Titel). Wie bei dem Streitpatent geht das System von einem elektronenoptischen System aus, bei dem die Öffnungsfehler dritter Ordnung (sphärische Aberration) mittels eines aus Rundlinsen und Hexapolen ge-bildeten Korrektivs in Richtung des Strahlenganges hinter dem zu korrigierenden Linsensystem begrenzt werden (vgl. D1 Sp. 1 Z. 7-22: „Allgemein bekannt ist, dass das Auflösungsvermögen von Rundlinsen in elektronenoptischen Systemen durch den Öffnungsfehler dritter Ordnung (sphärische Aberration) begrenzt wird. .... Einer der erfolgversprechendsten Lösungen ist der Einsatz von aus un-runden Linsensystemen bestehenden Korrektiven, wie sie z. B. in der EP 0 451 370 beschrieben sind, wo ein aus Rundlinsen und Hexapolen gebildetes Korrektiv in Richtung des Strahlenganges hinter dem zu korrigierenden Linsensys-tem, was in der Regel die Objektivlinse eines Elektronenmikroskopes darstellt, nachgeordnet wird.“) [= Merkmal 1]. Da sich sowohl das Streitpatent als auch die D1 mit einer Korrektureinrichtung zur Korrektur der sphärischen Aberration zur Verwendung in einem Elektronenmikroskop befassen, wird der Fachmann die D1 nicht unbeachtet lassen und auch als Ausgangspunkt seiner weiteren Überlegun-gen heranziehen. Auf der Suche nach der Lösung seiner im Streitpatent genann-ten Aufgabe, die Vergrößerung mittels der Korrekturoptik zur Korrektur des sphäri-schen Aberration zu ändern und die Drehbeziehung zwischen den mehrpoligen Elementen in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse ohne Änderung der Phasenwinkel der mehrpoligen Elemente zu korrigieren, wird der Fachmann die Vorrichtung nach der Druckschrift D1 dahingehend untersuchen, inwieweit diese Probleme bei der Korrektureinrichtung nach der D1 vorliegen. Dem steht auch nicht entgegen, dass die Druckschrift D1 hiervon ausgehend Abberationen erster, zweiter und dritter Ordnung (vgl. D1 Sp. 1 Z. 48-52) korrigieren möchte. - 10 - Diese Korrektureinrichtung besitzt zwei mehrpolige Elemente (Hexapole 1, 2) und zwei axialsymmetrischen Linsen (Rundlinsen 3, 4), die zwischen den beiden mehr-poligen Elementen angeordnet sind (vgl. D1 Fig. 1, 2 und zugehörige Beschrei-bung) [= Merkmale 1.1 und 1.2]. Die Druckschrift D1 lehrt dem Fachmann, zur Korrektur des dreizähligen Astigma-tismus zweiter Ordnung ein zusätzliches Hexapolfeld einzusetzen, oder eine Feld-erzeugung durch virtuelles Verdrehen der Hexapole des Korrektivs gegeneinander zu bewirken (vgl. D1 Sp. 2, Z. 60 – 66: „Hier erfolgt die Korrektur durch ein zusätz-liches Hexapofeld, dessen Stärke und Richtung ebenfalls durch den ermittelten Fehlerkoeffizienten bestimmt ist. Die Verwirklichung erfolgt durch Erzeugen eines derartigen Hexapolfeldes. Eine andere Möglichkeit der Felderzeugung besteht im virtuellen Verdrehen der Hexapole des Korrektives gegeneinander, wodurch eben-falls ein dreizähliges Feld erzeugt wird.“). Die Umsetzung erfolgt durch Anordnung einer magnetischen Rundlinse zwischen den beiden Hexapolen bzw. durch Ver-wenden der bereits vorhandenen erfolgen (vgl. D1 Sp. 2, Z. 66 bis Sp. 3, Z. 1: „Die Umsetzung erfolgt durch Anordnung einer magnetischen Rundlinse zwischen den beiden Hexapolen bzw. die Verwendung der bereits vorhandenen.“). - 11 - Der Fachmann wird daher die Vorrichtung nach der D1 untersuchen, inwieweit hier die nach dem Streitpatent auftretenden Aberrationen höherer Ordnung als der dritten Ordnung auftreten. In der Fig. 2 der D1 wird die Verwendung der bereits vorhandenen Rundlinsen (3, 4) für die virtuelle Verdrehung der Hexapolfelder gezeigt. Zwischen den beiden Hexapolen 1 und 2 befindet sich ein magnetisches Rundlin-sensystem 3, 4, durch das eine Larmor-Drehung des abbildenden Strahlenganges erfolgt und somit ein virtuelles Verdrehen der beiden Hexapole 1, 2 relativ gegen-einander erzeugt. Aus dieser Offenbarung erhält der Fachmann keinen Hinweis, eine zusätzliche Drehlinse anzubringen und diese in der Brennebene einer Elektronenbahn, die zwischen den axialsymmetrischen Linsen verläuft, anzuordnen (Merkmale 1.3 und 1.3.1). - 12 - Selbst wenn der Fachmann aus der Textstelle Sp. 2, Z. 66 - 68 „Die Umsetzung erfolgt durch Anordnung einer magnetischen Rundlinse zwischen den beiden He-xapolen …) entnehmen würde, eine einzige Drehlinse vorzusehen, so lehrt die D1, diese Maßnahme nur durchzuführen, falls keine weiteren Rundlinsen vorhanden sind. Unabhängig von der Tatsache, dass in dieser Alternative das Rundlinsen-paar nach Merkmal 1.2. fehlt, erhält der Fachmann in der D1 keine Anregung für die Positionierung gemäß Merkmal 1.3.1 in der Brennebene einer Elektronenbahn. Solches liegt auch nicht im Griffbereich des zuständigen Fachmanns. Da auch die weitere im Verfahren befindliche Druckschrift D2 und das Fachwissen dem Fachmann keine Anregung für die Anordnung von zwei axialsymmetrischen Linsen in Verbindung mit einer Drehkorrekturlinse, die in der Brennebene einer Elektronenbahn angeordnet ist, geben, ergibt sich der Gegenstand des An-spruchs 1 nicht in nahe liegender Weise aus dem Stand der Technik. Damit steht der im Verfahren befindliche Stand der Technik und das Fachwissen und Fachkönnen des zuständigen Fachmanns der Patentfähigkeit hinsichtlich Neuheit und erfinderischer Tätigkeit nicht entgegen. 5. Die Patentfähigkeit des Verfahrens nach Anspruch 2 und der Verwendung nach Anspruch 3 wird sinngemäß von den für die Korrektureinrichtung gemäß An-spruch 1 ausgeführten Gründen getragen. Die Ansprüche 2 und 3 sind daher gleichfalls gewährbar. 6. Auch die übrigen Unterlagen erfüllen insgesamt die an sie zu stellenden Anfor-derungen. - 13 - III Rechtsmittelbelehrung Gegen diesen Beschluss ist für jede am Beschwerdeverfahren beteiligte Person das Rechtsmittel der Rechtsbeschwerde gegeben, wenn gerügt wird, dass 1. das beschließende Gericht nicht vorschriftsmäßig besetzt war, 2. bei dem Beschluss ein Richter mitgewirkt hat, der von der Ausübung des Rich-teramtes kraft Gesetzes ausgeschlossen oder wegen Besorgnis der Befangen-heit mit Erfolg abgelehnt war, 3. einem Beteiligten das rechtliche Gehör versagt war, 4. ein Beteiligter im Verfahren nicht nach Vorschrift des Gesetzes vertreten war, sofern er nicht der Führung des Verfahrens ausdrücklich oder stillschweigend zugestimmt hat, 5. der Beschluss aufgrund einer mündlichen Verhandlung ergangen ist, bei der die Vorschriften über die Öffentlichkeit des Verfahrens verletzt worden sind, oder 6. der Beschluss nicht mit Gründen versehen ist. Die Rechtsbeschwerdeschrift muss von einer beim Bundesgerichtshof zugelasse-nen Rechtsanwältin oder von einem beim Bundesgerichtshof zugelassenen Rechtsanwalt unterzeichnet und innerhalb eines Monats nach Zustellung des Be-schlusses beim Bundesgerichtshof, Herrenstraße 45a, 76133 Karlsruhe einge-reicht werden. Die Frist ist nur gewahrt, wenn die Rechtsbeschwerde vor Fristab-lauf beim Bundesgerichtshof eingeht. Die Frist kann nicht verlängert werden. Dr. Häußler Hartlieb Dr. Müller Zimmerer Pü

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