BUNDESPATENTGERICHT 21 W (pat) 45/00 _______________ (Aktenzeichen) Verkündet am 20. November 2001 … B E S C H L U S S In der Beschwerdesache betreffend das Patent 195 11 593 … BPatG 154 6.70 - 2 - hat der 21. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf die mündliche Verhandlung vom 20. November 2001 unter Mitwirkung des Vorsit-zenden Richters Dr. Hechtfischer, der Richterin Dr. Franz sowie der Richter Dipl.-Phys. Dr. Kraus und Dipl.-Phys. Univ. Dr. Strößner beschlossen: Die Beschwerde der Patentinhaberin gegen den Beschluß der Patentabteilung 51 des Deutschen Patent- und Markenamts vom 16. Februar 2000 wird zurückgewiesen. G r ü n d e I. Auf die am 29. März 1995 beim Deutschen Patentamt eingegangene Patentan-meldung wurde das Patent mit der Bezeichnung "Mikrooptische Vorrichtung" er-teilt. Veröffentlichungstag der Patenterteilung ist der 13. Februar 1997. Nach Prüfung eines Einspruchs hat die Patentabteilung 51 des Deutschen Patent- und Markenamtes mit Beschluß vom 16. Februar 2000 das Patent widerrufen. Gegen diesen Beschluß richtet sich die Beschwerde der Patentinhaberin, die be-antragt, den angefochtenen Beschluß aufzuheben und das Patent mit den in der mündlichen Verhandlung überreichten Patentansprüchen 1 bis 6 und noch anzupassender Beschreibung beschränkt auf-rechtzuerhalten und über die Frage der Zulässigkeit der Aufstel-lung von Nebenansprüchen im Einspruchsverfahren die Rechts-beschwerde zuzulassen. - 3 - Die in der mündlichen Verhandlung überreichten, einander nebengeordneten Pa-tentansprüche 1 bis 3 haben folgenden Wortlaut: 1. Mikrooptische Vorrichtung zum Umformen eines von einem Laserdiodenbarren (6) in x-Richtung eines orthogonalen Be-zugssystems (5) abgestrahlten ersten Laserstrahlenbündels (8), bestehend aus mehreren streifenförmigen Einzelstrah-lenbündeln (9) mit jeweils gleichem Querschnitt, deren Längsmittelachsen des Querschnitts auf einer einzigen in y-Richtung des Bezugssystems (5) verlaufenden geraden Linie liegen, in ein zweites Laserstrahlenbündel aus parallel ne-beneinander angeordneten streifenförmigen Einzelstrahlen-bündeln (12) mit jeweils gleichem Querschnitt, bei der - eine Strahlenparallelisierungsoptik (11) die in z-Richtung des Bezugssystems (5) divergenten streifenförmigen Einzel-strahlenbündel (9) des ersten Laserstrahlenbündels (8) par-allelisiert, und - eine Umlenkspiegelanordnung (14, 15; 18, 21; 24; 26) das aus den parallelisierten streifenförmigen Einzelstrahlenbün-del (12) bestehende Laserstrahlenbündel (31) in das zweite Laserstrahlenbündel (17, 30) umformt, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Umlenkspiegelanordnung (14, 15; 18, 21; 24; 26) mittels eines Ätzverfahrens der Halbleiterprozeßtechnik gefertigte Strukturen auf-weist. 2. Mikrooptische Vorrichtung zum Umformen eines von einem Laserdio-denbarren (6) in x-Richtung eines orthogonalen Bezugssystems (5) abgestrahlten ersten Laserstrahlenbündels (8), bestehend aus meh-reren streifenförmigen Einzelstrahlenbündeln (9) mit jeweils gleichem Querschnitt, deren Längsmittelachsen des Querschnitts auf einer - 4 - einzigen in y-Richtung des Bezugssystems (5) verlaufenden geraden Linie liegen, in ein zweites Laserstrahlenbündel aus parallel neben-einander angeordneten streifenförmigen Einzelstrahlenbündeln (12) mit jeweils gleichem Querschnitt, bei der - eine Strahlenparallelisierungsoptik (11) die in z-Richtung des Bezugssystems (5) divergenten streifenförmigen Einzelstrahlenbün-del (9) des ersten Laserstrahlenbündels (8) parallelisiert, und - eine Umlenkspiegelanordnung (14, 15; 18, 21; 24; 26) das aus den parallelisierten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel (12) beste-hende Laserstrahlenbündel (31) in das zweite Laserstrahlenbündel (17, 30) umformt, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Umlenkspiegelanordnung eine erste und eine zweite Spiegelreihe (14, 15) aufweist, daß die erste Spiegelreihe (14) die parallelisierten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel (12) des ersten Laserstrahlenbündels (8) aus der x-Richtung ablenkt und gleichzeitig in x-Richtung gegeneinander versetzt, derart, daß die Längsmittelachsen der parallelisierten strei-fenförmigen Einzelstrahlenbündel (12) auf in einem Abstand zuein-ander parallel verlaufenden Geraden liegen, und daß die zweite Spiegelreihe (15)die gegeneinander versetzten parallelisierten Ein-zelstrahlenbündel (12) parallel nebeneinander abbildet, und daß die Einzelstrahlenbündel zwischen der Strahlenparallelisie-rungsoptik (11) und den Umlenkspiegeln der Umlenkspiegelanord-nung in einem für die Wellenlänge des vom Laserdiodenbarren ab-gestrahlten Laserlichtes durchlässigen Medium geführt sind, wobei die Grenzflächen zwischen dem durchlässigen Medium und Luft oder einem anderen angrenzenden Medium die Spiegelflächen der Um-lenkspiegelanordnung (14, 15; 18, 21; 24; 26) ausbilden. - 5 - 3. Mikrooptische Vorrichtung zum Umformen eines von einem Laserdio-denbarren (6) in x-Richtung eines orthogonalen Bezugssystems (5) abgestrahlten ersten Laserstrahlenbündels (8), bestehend aus meh-reren streifenförmigen Einzelstrahlenbündeln (9) mit jeweils gleichem Querschnitt, deren Längsmittelachsen des Querschnitts auf einer einzigen in y-Richtung des Bezugssystems(5) verlaufenden geraden Linie liegen, in ein zweites Laserstrahlenbündel aus parallel neben-einander angeordneten streifenförmigen Einzelstrahlenbündeln (12) mit jeweils gleichem Querschnitt, bei der - eine Strahlenparallelisierungsoptik (11) die in z-Richtung des Bezugssystems (5) divergenten streifenförmigen Einzelstrahlenbün-del (9) des ersten Laserstrahlenbündels (8) parallelisiert, und - eine Umlenkspiegelanordnung (14, 15; 18, 21; 24; 26) das aus den parallelisierten streifenförmigen Einzelstrahlenbündel (12) beste-hende Laserstrahlenbündel (31) in das zweite Laserstrahlenbündel (17, 30) umformt, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß - die Umlenkspiegelanordnung einen schrägen Spiegel und eine Spiegelreihe aufweist, - der schräge Spiegel eine Spiegelflächennormale aufweist, die mit der x-y-Ebene des Bezugssystems (5) einen Winkel von 45° und mit der x-z-Ebene des Bezugssystems (5) einen Winkel 0°
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