23 W (pat) 41/10  - 23. Senat (Techn.Beschw.)

BPatG 154 05.11 BUNDESPATENTGERICHT 23 W (pat) 41/10 _______________ (Aktenzeichen) Verkündet am 11. März 2014 … B E S C H L U S S In der Beschwerdesache … - 2 - betreffend das Patent 196 46 369 hat der 23. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf die mündliche Verhandlung vom 11. März 2014 unter Mitwirkung des Vorsitzenden Richters Dr. Strößner, der Richter Brandt und Dr. Friedrich sowie der Richterin Dr. Hoppe beschlossen: 1. Der Beschluss der Patentabteilung 34 vom 20. April 2010 des Deutschen Patent- und Markenamts wird aufgehoben. 2. Das Patent Nr. 196 46 369 wird widerrufen. 3. Die Anschlussbeschwerde wird zurückgewiesen. G r ü n d e I. Auf die am 9. November 1996 eingegangene Patentanmeldung hat die Prüfungs-stelle für Klasse H 05 K des Deutschen Patent- und Markenamts das nachge-suchte Patent 196 46 369 (Streitpatent) mit der Bezeichnung „Keramische Mehr-lagenschaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung“ unter Berücksichtigung der im Prüfungsverfahren ermittelten Druckschriften D1 US 4 464 420 D2 EP 247 617 A2 - 3 - D3 Mussler, B. H. u. a.: LTCC - die zwingende Alternative; In: productronic 8, 1995, S. 40 bis 46 (von der Patentinhaberin als Stand der Technik genannt) erteilt. Der Veröffentlichungstag der Patenterteilung ist der 31. Juli 2008. Gegen das Patent hat die Einsprechende mit Schriftsatz vom 30. Oktober 2008, beim Deutschen Patent- und Markenamt am selben Tag über Fax eingegangen, fristgemäß Einspruch erhoben und beantragt, das Streitpatent zu widerrufen, weil der Gegenstand des Patents nach den §§ 1 bis 5 PatG nicht patentfähig sei (§ 21 Abs. 1 Nr. 1), die Erfindung im Patent nicht so deutlich und vollständig offenbart sei, dass ein Fachmann sie ausführen könne (§ 21 Abs. 1 Nr. 2) und der Gegen-stand des Patents über den Inhalt der Anmeldung in der Fassung hinausgehe, in der sie beim DPMA ursprünglich eingereicht worden sei (§ 21 Abs. 1 Nr. 4). Sie stützt ihren Einspruch neben den von der Prüfungsstelle berücksichtigten Druckschriften D1 bis D3 auf das Dokument D4 Mussler, B., Schwanke, D.; Recent Development of Non-Active Integrated Components in Multilayer Modules; In: International Symposium on Tanta-lum and Niobium, September 24th - 28th 1995, Goslar, Germany. Nach Prüfung des als zulässig angesehenen Einspruchs hat die Patentabtei-lung 34 des Deutschen Patent- und Markenamts in der Anhörung vom 20. April 2010, in deren Verlauf die Patentinhaberin das Patent in der erteilten Fassung und mit den in der Anhörung überreichten Unterlagen gemäß den dama-ligen Hilfsanträgen 1 bis 3 verteidigt hat, das Streitpatent gemäß Hilfsantrag 3 beschränkt aufrechterhalten. Gegen diesen Beschluss, der Einsprechenden am 10. September 2010 zugestellt, richtet sich die Beschwerde der Einsprechenden vom 21. September 2010, frist-- 4 - gemäß am 7. Oktober 2010 beim Deutschen Patent- und Markenamt eingegan-gen. Mit Eingabe vom 19. Februar 2014 hat die Beschwerdeführerin und Ein-sprechende die Druckschrift D6 EP 0 735 671 A1 als weiteren Stand der Technik eingereicht. In der Verhandlung am 11. März 2014 hat die Patentinhaberin gegen den Be-schluss der Patentabteilung 34 vom 20. April 2010 Anschlussbeschwerde einge-legt und beantragt, 1. den Beschluss der Patentabteilung 34 vom 20. April 2010 aufzuheben und das Patent 196 46 369 mit der Bezeichnung „Keramische Mehrlagen-schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung“, dem Anmeldetag 9. November 1996 beschränkt aufrechtzuerhalten auf der Grundlage fol-gender Unterlagen: Patentansprüche 1-9, gem. Hauptantrag, eingegangen am 11. März 2014, Beschreibung Absatz [0001] bis [0015] gemäß Patentschrift mit 1 Blatt Zeichnung, Figur 1 gemäß Patentschrift; 2. hilfsweise (Hilfsantrag): Das Patent 196 46 369 mit der Bezeichnung „Keramische Mehrlagen-schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung“, dem Anmeldetag 9. No-vember 1996 beschränkt aufrechtzuerhalten auf der Grundlage folgender Unterlagen: Patentansprüche 1-9, gem. Hilfsantrag, eingegangen am 11. März 2014, Beschreibung Absatz [0001] bis [0013] und [0015] gemäß Patentschrift mit 1 Blatt Zeichnung, Figur 1 gemäß Patent-- 5 - schrift und Beschreibung Absatz [0014], eingegangen am 11. März 2014. Die Einsprechende beantragt, den Beschluss der Patentabteilung 34 vom 20. April 2010 aufzu-heben und das Patent 196 46 369 zu widerrufen. Die geltenden, mit Gliederungspunkten versehenen, ansonsten aber wörtlich wiedergegebenen, in der Verhandlung überreichten selbständigen Ansprüche 1 und 6 nach Hauptantrag lauten: „1. Verfahren zur Herstellung keramischer Mehrlagenschaltungen in LTCC-Technik, bei dem a) in ungebrannte keramische Folien Durchkontaktierlöcher (1) eingestanzt werden, b) die Durchkontaktierlöcher mit einer Silberpaste aufgefüllt werden, c) in einem weiteren Schritt Leiterbahnen (2) aus Silber auf die Fo-lien gedruckt werden, d) die keramischen Folien anschließend zu einem Folienstapel (3) gestapelt und in einem Pressvorgang miteinander verbunden wer-den, e) in einem weiteren Schritt ein Sintervorgang erfolgt, dadurch gekennzeichnet, f) dass vor und/oder nach dem Sintervorgang Außenleiterbahnen (4) und Außenkontaktierungen (5) aus Silber an den Außenseiten (10) des Folienstapels (3) aufgedruckt werden und g) dass in einem weiteren Schritt eine metallische Schutzschicht auf die Außenleiterbahnen und Außenkontaktierungen aufgetragen wird, wobei die metallische Schutzschicht aus einer Nickelschicht und einer Goldschicht besteht.“ - 6 - „6. Keramische Mehrlagenschaltung, a) mit mindestens zwei aufeinander gestapelten keramischen Folien, b) auf deren innen liegenden Seiten Leiterbahnen (2) aus Silber aufgebracht sind, c) die über mit Leiterbahnpaste aus Silber gefüllten Durchkontaktier-löchern (1) mit Leiterbahnen benachbarter Folien elektrisch leitend verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, d) dass an den Außenseiten (10) des Folienstapels Außenleiterbah-nen (4) und Außenkontaktierungen (5) aus Silber angebracht sind und e) dass die Außenleiterbahnen und Außenkontaktierungen mit einer metallischen Schutzschicht versehen sind, wobei die metallische Schutzschicht aus einer Nickelschicht und einer Goldschicht be-steht.“ Die geltenden Ansprüche des Hilfsantrags unterscheiden sich von denen des Hauptantrags lediglich dadurch, dass im Kennzeichen des Anspruchs 1 die For-mulierung „dass vor und/oder nach dem Sintervorgang“ ersetzt wird durch „dass nach dem Sintervorgang“. Hinsichtlich der abhängigen Ansprüche 2 bis 5 und 7 bis 9 des Haupt- bzw. Hilfs-antrags sowie der weiteren Einzelheiten wird auf die Patentschrift und den Akten-inhalt verwiesen. II. Die form- und fristgerecht erhobene Beschwerde der Einsprechenden ist zulässig und erweist sich nach dem Ergebnis der mündlichen Verhandlung vom 11. März 2014 auch als begründet, denn sie führt zur Aufhebung des angefochte-- 7 - nen Beschlusses und zum Widerruf des Streitpatents, da die keramische Mehrla-genschaltung des jeweils identischen Anspruchs 6 nach Haupt- und Hilfsantrag durch Druckschrift D2 dem Fachmann nahegelegt ist. Dieser ist hier als berufserfahrener und mit der Entwicklung und Fertigung von keramischen Mehrlagenschaltungen befasster Ingenieur der Elektrotechnik mit Fachhochschulausbildung zu definieren. 1. Die Zulässigkeit des Einspruchs ist auch im Beschwerdeverfahren von Amts wegen zu überprüfen (vgl. BGH GRUR 1972, 592, Leitsatz 2 - Sortiergerät). Der form- und fristgerecht erhobene Einspruch ist zulässig, weil ein Widerrufs-grund des § 21 PatG, insbesondere der fehlenden Neuheit bzw. erfinderischen Tätigkeit (§ 59 Abs. 1 Satz 3 PatG i. V. m. § 21 Abs. 1 Nr. 1) angegeben ist und die Tatsachen, die den Einspruch rechtfertigen, im Einzelnen aufgeführt sind (§ 59 Abs. 1 Satz 4 PatG), da in der zugehörigen Begründung ein konkreter Bezug der einzelnen Merkmale des erteilten selbständigen Anspruchs 1 zum Stand der Technik nach den Druckschriften D2 bis D4 hergestellt wird, um die fehlende Neu-heit bzw. erfinderische Tätigkeit zu belegen (vgl. hierzu BGH BlPMZ 1988, 250, Leitsatz 2, 251, li. Sp., Abs. 1 - Epoxidation). 2. Das Streitpatent betrifft gemäß dem Oberbegriff des erteilten Anspruchs 1 ein Verfahren zur Herstellung keramischer Mehrlagenschaltungen in LTCC-Tech-nik (Low Temperature Cofired Ceramic), bei dem in ungebrannte keramische Fo-lien Durchkontaktierlöcher eingestanzt werden, die Durchkontaktierlöcher mit einer Silberpaste aufgefüllt werden, in einem weiteren Schritt Leiterbahnen aus Silber auf die Folien gedruckt werden, die keramischen Folien anschließend zu einem Folienstapel gestapelt und in einem Pressvorgang miteinander verbunden werden und in einem weiteren Schritt ein Sintervorgang erfolgt. Darüber hinaus betrifft das Streitpatent nach dem Oberbegriff des selbständigen Anspruchs 6 auch eine keramische Mehrlagenschaltung mit mindestens zwei aufeinander gestapelten - 8 - keramischen Folien, auf deren innen liegenden Seiten Leiterbahnen aus Silber aufgebracht sind, die über mit Leiterbahnpaste aus Silber gefüllte Durchkontak-tierlöcher mit Leiterbahnen benachbarter Folien elektrisch leitend verbunden sind. Keramische Mehrlagenschaltungen bestehen aus einzelnen, aufeinander gesta-pelten keramischen Schichten mit Durchgangsleitern (sog. Vias) in und Leiterbah-nen auf den einzelnen Schichten. Bei ihrer Herstellung werden sog. Grünblätter aus einem keramischen Brei gebildet und mit Durchgangslöchern versehen. Diese werden mit einer leitfähigen Paste gefüllt, und auf die Grünblätter werden Leiter-bahnen ebenfalls mit einer leitfähigen Paste aufgebracht. Dann erfolgt ein Aufei-nanderschichten der einzelnen Grünblätter, ein Zusammenpressen und ein Bren-nen in oxidierender Atmosphäre unterhalb der Schmelztemperatur der verwende-ten Leiter. Um den elektrischen Widerstand der Mehrlagenschaltung gering zu halten, wer-den für die Leiter gut leitende Materialien wie Silber bevorzugt. Dieses hat jedoch eine relativ niedrige Schmelztemperatur von 962°C und erlaubt daher auch nur entsprechend niedrige Brenntemperaturen, was insofern nachteilig ist, als bei sol-chen, relativ niedrigen Temperaturen lange Brenndauern nötig sind, um beim Brennen die Bindemittel aus den Grünblättern zu entfernen. Aus diesem Grund wurden niedrig sinternde Keramiken (LTCC-Technik) entwickelt, die je nach Mate-rial bei niedrigen Brenntemperaturen von 850 bis 980°C zusammen mit der Metal-lisierungspaste gebrannt werden. Bei der Verwendung von Silber als äußerer Oberflächenverdrahtungsschicht führt jedoch dessen hohe Ionen-Beweglichkeit zu Schwierigkeiten, denn befindet sich Silber auf einem Isolator in feuchter Umge-bung und unter einem elektrischen Feld, können Silberionen migrieren und sich an anderer Stelle ablagern, was im Fall von Mehrlagenschaltungen Kurzschlüsse in den Oberflächenverdrahtungsschichten aufgrund dieser Silber-Migration verursa-chen kann. Aus diesem Grund wird Silber bei Mehrlagenschaltungen bevorzugt als Leiterbahnmaterial für die inneren Verdrahtungsschichten verwendet, während als äußere Verdrahtungsschicht andere Metalle eingesetzt werden. - 9 - Gemäß der Beschreibungseinleitung geht das Streitpatent hinsichtlich der Ober-begriffe der selbständigen Ansprüche 1 und 6 von einem Stand der Technik aus, wie er in der Druckschrift D3 erläutert ist. Diese beschreibe eine keramische Mehrlagenschaltung bzw. ein Verfahren zur Herstellung einer keramischen Mehr-lagenschaltung, bei denen in Kombination mit Silber-Zwischenleiterbahnen für die Außenmetallisierungen entweder reines Silber (Ag) oder Silberpalladium (Ag/Pd) und/oder Gold (Au) verwendet werde. Im Fall reinen Silbers trete bei undefinierten Lagerbedingungen jedoch Korrosion auf, wohingegen hochlegierte AgPd-Metalli-sierungen eine zuverlässigere Lösung böten. Bei der Verwendung von Silberpal-ladium und/oder Gold in Kombination mit Zwischenleiterbahnen aus Silber komme es aber am Übergang von silbergefüllten Durchkontaktierlöchern zu Silberpalla-dium bzw. Gold zu Diffusionsvorgängen (Kirkendalleffekt), was zu einer nachteili-gen Materialauszehrung führen könne. In der weiteren Darlegung des Stands der Technik geht das Streitpatent auch auf die Druckschriften D1 und D2 ein und führt bezüglich der D2 aus, dass diese keramische Mehrlagenschaltungen mit Silberplatinleiterbahnen bzw. -vias im Inne-ren sowie Goldaußenkontaktierungen beschreibe, bei denen zwischen den Außenkontaktierungen und den Vias in der obersten Lage eine Übergangsbele-gung aus Nickel und Gold angeordnet sei. Im Gegensatz dazu betreffe die Druck-schrift D1 keine LTCC-Technik, sondern einen Hochtemperatursinterprozess. Bei diesem könnten wegen der hohen Brenntemperaturen keine Silberleiterbahnen im Inneren verwendet werden. Stattdessen würden Leiterbahnen aus Wolfram, Molybdän oder dergleichen hergestellt, die bei den hohen Sintertemperaturen die-ses Hochtemperaturprozesses ausreichend beständig seien. Nach dem Hochtem-peratursintern bei 1600°C erfolge dann ein Aufbringen von metallischen Schutz-schichten, und erst danach würden weitere silberhaltige Schichten aufgebracht, die jedoch nachfolgend nicht mehr mit einer Schutzschicht versehen würden. Da-bei handele es sich um die üblichen Silberplatin- oder Silberpalladiumpasten, die sich auch ohne zusätzliche Schutzschichten auf den Außenseiten von Mehrlagen-schaltungen bewährt hätten, vgl. Abs. [0001] bis [0003] der Streitpatentschrift. - 10 - Vor diesem Hintergrund liegt dem Streitpatent als technisches Problem sinnge-mäß die Aufgabe zugrunde, eine keramische Mehrlagenschaltung bereit zu stel-len, die korrosionsbeständig und mit niederohmigen Außenkontakten bzw. Außenleiterbahnen versehen ist, sowie ein einfaches, preiswertes und zeitsparen-des Verfahren zu deren Herstellung anzugeben, vgl. Abs. [0004] der Streitpatent-schrift. Diese Aufgabe wird durch das Herstellungsverfahren des Anspruchs 1 und die keramische Mehrlagenschaltung des selbständigen Anspruchs 6 nach Haupt- und Hilfsantrag gelöst. Die keramische Mehrlagenschaltung und das zugehörige Herstellungsverfahren der geltenden selbständigen Ansprüche zeichnen sich dadurch aus, dass nicht nur die innen liegenden Leiterbahnen und Durchkontaktierlöcher aus Silber bestehen, sondern auch die Außenleiterbahnen und Außenkontaktierungen, und dass zudem die Außenleiterbahnen und Außenkontaktierungen mit einer aus einer Nickel- und Goldschicht bestehenden metallischen Schutzschicht versehen sind. Dadurch, dass Silber für Außenleiterbahnen verwendet wird, erzielt man niederohmige und gegenüber dem Kirkendalleffekt unempfindliche Übergänge zu den mit Silber ge-füllten Durchkontaktierungen der keramischen Mehrlagenschaltung, und die me-tallischen Schutzschichten aus Nickel und Gold über den Außenleiterbahnen bzw. Außenkontaktierung aus Silber verleihen denselben Korrosionsbeständigkeit. Diese metallischen Schutzschichten ermöglichen den Einsatz reiner Silberpasten als offene Montageleiterbahnen, da sie die Außenleiterbahnen bzw. Außenkontak-tierungen vor Schwefel, Chlor, Luftfeuchtigkeit usw. schützen. Außerdem wird die Kombination unterschiedlicher Leiterbahnmaterialien wie Gold, Goldsilber, Goldsilberpalladium, Silberpalladium und Silberplatin umgangen und es werden im Herstellungsverfahren zeitaufwendige und teure Verfahrensschritte eingespart, vgl. Abs. [0005] bis [0007] der Streitpatentschrift. - 11 - 3. Die Frage der Zulässigkeit der geltenden Ansprüche kann trotz der Beden-ken des Senats hinsichtlich der Ursprungsoffenbarung des im Anspruch 1 nach Hauptantrag angegebenen Merkmals, dass Außenleiterbahnen und Außenkontak-tierungen aus Silber vor dem Sintervorgang aufgedruckt werden, dahinstehen. Gleiches gilt für die Frage der Ausführbarkeit der Lehre des Streitpatents und der Neuheit der Gegenstände der selbständigen Ansprüche. Denn die keramische Mehrlagenschaltung der gleichlautenden selbständigen Ansprüche 6 nach Haupt- und Hilfsantrag beruht nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit des vorstehend de-finierten Fachmanns, vgl. BGH GRUR 1991, 120-121, II.1. - Elastische Bandage. Druckschrift D2 offenbart im Rahmen der Darlegung des Stands der Technik eine keramische Mehrlagenschaltung, mit - in den Worten des selbständigen An-spruchs 6 nach Hauptantrag - mindestens zwei aufeinander gestapelten kerami-schen Folien, auf deren innen liegenden Seiten Leiterbahnen aus Silber aufge-bracht sind, die über mit Leiterbahnpaste aus Silber gefüllten Durchkontaktierlö-chern mit Leiterbahnen benachbarter Folien elektrisch leitend verbunden sind, wobei an den Außenseiten des Folienstapels Außenleiterbahnen und Außenkon-taktierungen aus Silber angebracht sind, vgl. in der Druckschrift D2 auf Seite 2 den zweiten und dritten Absatz: „In recent years, there have been developed multilayer ceramic substrates having co-fired conductors in which conductive ma-terials of low sheet resistivity, such as Ag, Au or Cu, have been used as the conductors and ceramic materials fireable at temperatures below the melting points (800 to 1100 [deg.]C) of the conductive materials are used as an insulator. When Ag base conductive materials are used as the conductors in the aforesaid co-fired type multilayer ceramic substrates, a metal component, such as Ag, in the conductors formed on the external surface of the multilayer substrate tends to mi-grate and thereby causes serious problems, such as decrease of insulation re-sistance or short circuit. As a measure of preventing such a migration of Ag, etc., for example, in Ag-Pd system conductors, palladium content is increased. How-ever, in such a case, the conductor resistivity will be unfavorably increased to the orders of 20 to 30 milliohms/square.“ - 12 - Damit ist aus Druckschrift D2 eine keramische Mehrlagenschaltung bekannt, die bis auf die aus einer Nickel- und Goldschicht bestehende metallische Schutz-schicht auf der Außenmetallisierung gemäß dem Gliederungspunkt e) des An-spruchs 6 nach Hauptantrag sämtliche Merkmale der entsprechenden Mehrlagen-schaltung aufweist. Wie Druckschrift D2 in obiger Fundstelle ausführt, ist Silber als Material für die Außenmetallisierung der Mehrlagenschaltung insofern problematisch, als es zur Migration neigt, d. h. zur Bildung unerwünschter leitfähiger Pfade durch die Wan-derung von Silberionen zwischen Leiterbahnen unterschiedlichen Potentials unter dem Einfluss von Feuchtigkeit, insbesondere aus der Umgebungsluft. Aus diesem Grund würden üblicherweise Silberlegierungen wie AgPd für die Außenmetalli-sierung verwendet, was aber aufgrund des Palladium-Anteils zu einer nachteiligen Erhöhung des spezifischen Flächenwiderstands R□ auf 20 bis 30 mΩ führe. Im Weiteren wird in der Druckschrift D2 dann bezüglich des dort erläuterten Stands der Technik festgestellt, dass es aufgrund des geringen spezifischen Flächenwiderstands R□ von Silber, der unterhalb von 3 mΩ liege und damit gerin-ger als der von Gold sei, Vorteile hinsichtlich der Schaltgeschwindigkeit biete, alle Leiter einer keramischen Mehrlagenschaltung aus Silber herstellen zu können (vgl. Seite 3, Zeilen 25 bis Seite 4, Zeile 2: „In view of the fact that Ag has a low conductor resistivity less than 3 milliohms/square in comparison with the conductor resistivity of Au, i.e., 3 to 4 milliohms/square, it would be advantageous if all conductors could be formed from Ag to minimize the circuit resistivity of mul-tilayered signal lines. In the conventional super computers or the similar high-speed electronic devices in which multilayer substrates with Au conductors have been used, much higher speed is increasingly required and it is strongly desired to minimize conductor resistivity.”). Als Lösung schlägt Druckschrift D2, vgl. deren Ansprüche 1, 3 und 4 sowie Sei-te 6, erster Absatz und Figur 3, eine keramische Mehrlagenschaltung vor, deren - 13 - innere Leiter sowie innere und äußere Vias aus Silber gebildet sind und deren äußere Leiter aus Gold bestehen, wobei zur Aufrechterhaltung der Anti-Migra-tionseigenschaften von Gold eine Nickelschicht auf den äußeren Silber-Vias un-terhalb der Goldschicht angeordnet ist, die eine Eindiffusion von Silber in die Goldschicht verhindert, vgl. auch Seite 5, letzter Absatz, insbesondere die Zeilen 30 bis 34. „The metal layer is provided in order to prevent diffusion of the Ag con-ductor into the Au conductors during firing the Au conductors and thereby prevent deterioration of the anti-migration property and reliability of the Au conductors.“ Damit gibt Druckschrift D2 dem Fachmann in Übereinstimmung mit den Ausfüh-rungen im Streitpatent die Lehre, dass sich in keramischen Mehrlagenschaltungen durch das Aufbringen einer Nickel- und Goldschicht auf das äußere Silber-Via die Migrationsproblematik von nach außen führenden Silberleitern verringern lässt. Diese die äußeren Silber-Vias betreffende Lösung auf die in Druckschrift D2 als Stand der Technik beschriebene Mehrlagenschaltung mit äußeren Silberleiterbah-nen zu übertragen, kann keine erfinderische Tätigkeit des vorstehend definierten Fachmanns begründen, zumal in Druckschrift D2 ausdrücklich auf die Kosten- und Leitfähigkeitsvorteile von Silber verglichen mit Gold hingewiesen wird, vgl. obige Fundstellen und Seite 4, letzter Absatz, und sich mit einer solchen Übertragung auf eine Anordnung mit äußeren Silberleiterbahnen eben diese Vorteile realisieren lassen. Die keramische Mehrlagenschaltung des Anspruchs 6 nach Hauptantrag wird dem Fachmann somit durch Druckschrift D2 nahegelegt und beruht auf keiner erfinde-rischen Tätigkeit. 4. Die selbständigen Ansprüche 6 des Haupt- und Hilfsantrags sind identisch. Somit beruht auch die keramische Mehrlagenschaltung des Anspruchs 6 nach Hilfsantrag auf keiner erfinderischen Tätigkeit des Fachmanns, da sie ihm durch Druckschrift D2 nahegelegt wird. - 14 - 5. Mit dem selbständigen Anspruch 6 fallen wegen der Antragsbindung auch der selbständige Anspruch 1 und die auf die selbständigen Ansprüche 1 und 6 rückbezogenen Unteransprüche, vgl. BGH GRUR 2007, 862, 863, Tz. 22 – Infor-mationsübermittlungsverfahren II. 6. Bei dieser Sachlage war der angefochtene Beschluss aufzuheben und das Patent zu widerrufen sowie die Anschlussbeschwerde zurückzuweisen. Rechtsmittelbelehrung Gegen diesen Beschluss steht den am Beschwerdeverfahren Beteiligten das Rechtsmittel der Rechtsbeschwerde zu. Da der Senat die Rechtsbeschwerde nicht zugelassen hat, ist sie nur statthaft, wenn einer der nachfolgenden Verfah-rensmängel gerügt wird, nämlich 1. dass das beschließende Gericht nicht vorschriftsmäßig be-setzt war, 2. dass bei dem Beschluss ein Richter mitgewirkt hat, der von der Ausübung des Richteramtes kraft Gesetzes ausge-schlossen oder wegen Besorgnis der Befangenheit mit Erfolg abgelehnt war, 3. dass, einem Beteiligten das rechtliche Gehör versagt war, 4. dass ein Beteiligter im Verfahren nicht nach Vorschrift des Gesetzes vertreten war, sofern er nicht der Führung des Verfahrens ausdrücklich oder stillschweigend zugestimmt hat, 5. dass der Beschluss aufgrund einer mündlichen Verhandlung ergangen ist, bei der die Vorschriften über die Öffentlichkeit des Verfahrens verletzt worden sind, oder 6. dass der Beschluss nicht mit Gründen versehen ist. - 15 - Die Rechtsbeschwerde ist innerhalb eines Monats nach Zustellung des Be-schlusses schriftlich durch einen beim Bundesgerichtshof zugelassenen Rechts-anwalt als Bevollmächtigten beim Bundesgerichtshof, Herrenstr. 45 a, 76133 Karlsruhe, einzureichen oder durch einen beim Bundesgerichtshof zugelas-senen Rechtsanwalt als Bevollmächtigten in elektronischer Form bei der elektroni-schen Poststelle des BGH, www.bundesgerichtshof.de/erv.html. Das elektronische Dokument ist mit einer prüfbaren qualifizierten elektronischen Signatur nach dem Signaturgesetz oder mit einer prüfbaren fortgeschrittenen elektronischen Signatur zu versehen. Die Eignungsvoraussetzungen für eine Prüfung und für die Formate des elektronischen Dokuments werden auf der Internetseite des Bundesgerichts-hofs www.bundesgerichtshof.de/erv.html bekannt gegeben. Dr. Strößner Brandt Dr. Friedrich Dr. Hoppe Cl

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