23 W (pat) 51/09  - 23. Senat (Techn.Beschw.)

BUNDESPATENTGERICHT23 W (pat) 51/09_______________(Aktenzeichen)Verkündet am13. August 2013…B E S C H L U S SIn der Beschwerdesache…betreffend die Patentanmeldung 102 97 694.5-33hat der 23. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf die mündlichen Verhandlung vom 13. August 2013 unter Mitwirkung des Vorsit-zenden Richters Dr. Strößner sowie der Richter Brandt, Metternich und Dr. Friedrichbeschlossen:Die Beschwerde der Anmelderin wird zurückgewiesen.G r ü n d eI.Die vorliegende Anmeldung mit dem Aktenzeichen 102 97 694.5-33 und der Be-zeichnung „Feldeffekttransistor mit einer lateralen Verarmungs-Struktur“ wurde in deutscher Übersetzung am 29. September 2004 als deutscher Teil der internatio-nalen Anmeldung PCT/US02/10008 (Veröffentlichungs-Nr. WO 03/085722 A2) mit dem internationalen Anmeldetag 29. März 2002 beim Deutschen Patent- und Mar-kenamt eingereicht.Die Prüfungsstelle hat im Prüfungsverfahren den Stand der Technik gemäß den DruckschriftenD1 US 2001/0025984 A1D2 US 2001/0041407 A1D3 US 5 895 951 AD4 US 6 040 600 AD5 US 6 429 481 B1 (von der Anmelderin genannt)D6 US 6 391 699 B1 (von der Anmelderin genannt)berücksichtigt und im einzigen Prüfungsbescheid vom 27. September 2006 aus-geführt, dass der Feldeffekttransistor des zum damaligen Zeitpunkt geltenden An-spruchs 1 durch Druckschrift D1 neuheitsschädlich vorweggenommen werde und die Verfahren der nebengeordneten Ansprüche 14 und 20 sowie die Gegenstände der abhängigen Ansprüche wegen fehlender erfinderischer Tätigkeit bezüglich der Druckschriften D1 bis D4 nicht patentfähig seien.Dem hat die Anmelderin in ihren Eingaben vom 22. Oktober 2007, 26. Febru-ar 2009 und 5. Juni 2009 widersprochen.In der am 16. Juni 2009 durchgeführten Anhörung, zu der die Anmelderin wie an-gekündigt nicht erschienen war, hat die Prüfungsstelle die Anmeldung wegen feh-lender Neuheit der Feldeffekttransistoren nach Anspruch 1 des Hauptantrags vom 22. Oktober 2007 sowie des Hilfsantrags vom 26. Februar 2009 bezüglich der Druckschrift D1 zurückgewiesen.Gegen diesen Beschluss, dem Vertreter der Anmelderin am 31. Juli 2009 zuge-stellt, richten sich die fristgemäß am 27. August 2009 über Fax eingegangene Be-schwerde, die zugehörige Beschwerdebegründung vom 27. Oktober 2009, mit der die Anmelderin die dem Zurückweisungsbeschluss zugrunde liegenden An-spruchssätze nach Haupt- und Hilfsantrag noch einmal vorgelegt hat, sowie die weitere, einen zweiten Hilfsantrag umfassende Eingabe vom 5. August 2013.Zusammen mit der Ladung ist die Anmelderin darauf hingewiesen worden, dass die Druckschrift D1 zusammen mit der DruckschriftD7 KR 10 2002 0019287 Aden Anmeldungsgegenstand nahelegen könnte.Zur mündlichen Verhandlung am 13. August 2013 ist die Anmelderin, wie zuvor mit Schriftsatz vom 5. August 2013 angekündigt, nicht erschienen. Schriftsätzlichhat sie sinngemäß beantragt,1. den Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse H 01 L des Deutschen Patent- und Markenamts vom 16. Juni 2009 aufzuheben;2. ein Patent mit der Bezeichnung „Feldeffekttransistor mit einer lateralen Verarmungs-Struktur“ und dem Anmeldetag 29. März 2002 auf der Grundlage folgender Unterlagen zu erteilen:Patentansprüche 1 - 23, eingegangen per Telefax am 27. Oktober 2009, sowie Beschreibungsseiten 1 - 18, einge-gangen am 30. September 2004, und 12 Blatt Zeichnungen mit Figuren 1 - 8 (e), ebenfalls eingegangen am 30. Septem-ber 2004 (Hauptantrag)3. hilfsweise, ein Patent mit der vorgenannten Bezeichnung und dem vorgenannten Anmeldetag auf der Grundlage folgender Unterlagen zu erteilen:Patentansprüche 1 - 20, eingegangen per Telefax am 27. Oktober 2009, sowie Beschreibungsseiten und Zeichnun-gen gemäß Hauptantrag (1. Hilfsantrag);4. weiterhin hilfsweise, ein Patent mit der vorgenannten Bezeichnung und dem vorgenannten Anmeldetag auf der Grundlage folgender Un-terlagen zu erteilen:Patentansprüche 1 - 20, eingegangen per Telefax am 5. Au-gust 2013, sowie Beschreibungsseiten und Zeichnungen ge-mäß Hauptantrag (2. Hilfsantrag).Der geltende Patentanspruch 1 des Hauptantrags lautet:„Feldeffekttransistor, umfassendeinen Halbleiterbereich (29) eines ersten Leitfähigkeitstypus mit einer Dicke, welche durch den Abstand zwischen den oberen und unteren Oberflächen des Halbleiterbereichs definiert wird;einen Wannenbereich (34) eines zweiten Leitfähigkeitstypus über dem gesamten Halbleiterbereich;eine Vielzahl von Gattergräben (45), welche sich jeweils durch den Wannenbereich erstrecken und innerhalb einer oberen Hälfte des Halbleiterbereichs enden;eine Vielzahl von Zuführungsbereichen (36) des ersten Leitfähigkeits-typus in einem oberen Abschnitt des Wannenbereichs, wobei die Viel-zahl der Zuführungsbereiche die Seiten der Vielzahl der Gattergräben flankieren; undeine Vielzahl von Streifengräben (35), welche sich jeweils durch den Wannenbereich erstrecken und innerhalb einer unteren Hälfte des Halbleiterbereichs bei einer Tiefe nahe der unteren Oberfläche des Halbleiterbereichs enden, wobei jeder Streifengraben seitlich von ei-nem oder mehreren der Vielzahl der Gattergräben beabstandet ist und zumindest teilweise mit einem Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstypus solcherart gefüllt ist, dass:(i) Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstypus zusammen mit dem Wannenbereich eine zusammenhängende Region des zweiten Leitfähigkeitstypus bilden und(ii) das Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstypus eine PN-Verbindung mit dem Halbleiterbereich bildet.“Der Patentanspruch 1 nach Hilfsantrag 1 präzisiert den Halbleiterbereich als eine epitaktische Schicht und definiert einen Ableitungsbereich, der höher dotiert ist als die epitaktische Schicht. Außerdem gibt er an, dass die Streifengräben mit epitak-tischem Silizium gefüllt sind. Dabei versteht die Anmeldung unter den Begriffen Ableitungs- bzw. Zuführungsbereich den Drain- bzw. Sourcebereich des vertikalen Transistors und unter dem Begriff Gattergraben den Graben des Transistorgates. Der Anspruch 1 des Hilfsantrags 1 hat folgenden Wortlaut:„Feldeffekttransistor, umfassendeinen Ableitungsbereich eines ersten Leitfähigkeitstypus,eine epitaktische Schicht des ersten Leitfähigkeitstypus über dem Ab-leitungsbereich, wobei der Ableitungsbereich eine höhere Dotierungs-konzentration aufweist als die epitaktische Schicht, die eine Dicke, welche durch den Abstand zwischen den oberen und unteren Oberflä-chen der epitaktischen Schicht definiert wird, aufweist;einen Wannenbereich (34) eines zweiten Leitfähigkeitstypus in einem oberen Bereich der epitaktischen Schicht;eine Vielzahl von Gattergräben (45), welche sich jeweils durch den Wannenbereich erstrecken und innerhalb einer oberen Hälfte der epi-taktischen Schicht enden;eine Vielzahl von Zuführungsbereichen (36) des ersten Leitfähigkeits-typus in einem oberen Abschnitt des Wannenbereichs, wobei die Viel-zahl der Zuführungsbereiche die Seiten der Vielzahl der Gattergräben flankieren;und eine Vielzahl von Streifengräben (35), welche sich jeweils durch den Wannenbereich erstrecken und innerhalb einer unteren Hälfte der epitaktischen Schicht bei einer Tiefe nahe der unteren Oberfläche der epitaktischen Schicht enden, wobei jeder Streifengraben seitlich von einem oder mehreren der Vielzahl der Gattergräben beabstandet istund zumindest teilweise mit epitaktischem Silizium des zweiten Leitfä-higkeitstypus solcherart gefüllt ist, dass:(i) das epitaktische Silizium des zweiten Leitfähigkeitstypus zu-sammen mit dem Wannenbereich eine zusammenhängende Region des zweiten Leitfähigkeitstypus bilden und(ii) das epitaktische Silizium des zweiten Leitfähigkeitstypus eine PN-Verbindung mit der epitaktischen Schicht bildet.“Der Anspruch 1 des Hilfsantrags 2 konkretisiert den Feldeffekttransistor des An-spruchs 1 nach Hilfsantrag 1 dahingehend, dass ein Abschnitt des epitaktischen Siliziums des zweiten Leitfähigkeitstypus, der unterhalb des Wannenbereichs an-geordnet ist, in direktem Kontakt mit der epitaktischen Schicht steht. Er lautet:„Feldeffekttransistor, umfassendeinen Ableitungsbereich eines ersten Leitfähigkeitstypus,eine epitaktische Schicht des ersten Leitfähigkeitstypus über dem Ab-leitungsbereich, wobei der Ableitungsbereich eine höhere Dotierungs-konzentration aufweist als die epitaktische Schicht, die eine Dicke, welche durch den Abstand zwischen den oberen und unteren Oberflä-chen der epitaktischen Schicht definiert wird, aufweist;einen Wannenbereich (34) eines zweiten Leitfähigkeitstypus in einem oberen Bereich der epitaktischen Schicht;eine Vielzahl von Gattergräben (45), welche sich jeweils durch den Wannenbereich erstrecken und innerhalb einer oberen Hälfte der epi-taktischen Schicht enden;eine Vielzahl von Zuführungsbereichen (36) des ersten Leitfähigkeits-typus in einem oberen Abschnitt des Wannenbereichs, wobei die Viel-zahl der Zuführungsbereiche die Seiten der Vielzahl der Gattergräben flankieren;und eine Vielzahl von Streifengräben (35), welche sich jeweils durch den Wannenbereich erstrecken und innerhalb einer unteren Hälfte der epitaktischen Schicht bei einer Tiefe nahe der unteren Oberfläche der epitaktischen Schicht enden, wobei jeder Streifengraben seitlich von einem oder mehreren der Vielzahl der Gattergräben beabstandet istund zumindest teilweise mit epitaktischem Silizium des zweiten Leitfä-higkeitstypus solcherart gefüllt ist, dass:(i) das epitaktische Silizium des zweiten Leitfähigkeitstypus zu-sammen mit dem Wannenbereich eine zusammenhängende Region des zweiten Leitfähigkeitstypus bilden und(ii) ein Abschnitt des epitaktischen Siliziums des zweiten Leitfä-higkeitstypus, der unterhalb des Wannenbereichs angeordnet ist, in direktem Kontakt mit der epitaktischen Schicht steht, und(iii) das epitaktische Silizium des zweiten Leitfähigkeitstypus eine PN-Verbindung mit der epitaktischen Schicht bildet.“Hinsichtlich der Nebenansprüche 9 und 15 des Hauptantrags bzw. 8 und 13 der Hilfsanträge sowie bezüglich der jeweiligen Unteransprüche und weiteren Einzel-heiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.II.Die zulässige Beschwerde der Anmelderin erweist sich nach dem Ergebnis der mündlichen Verhandlung als nicht begründet, denn der Feldeffekttransistor nach dem geltenden Patentanspruch 1 des Hauptantrags und des ersten und zweiten Hilfsantrags wird dem Fachmann durch den Stand der Technik gemäß der Druck-schrift D1 i. V. m. der Druckschrift D7 nahegelegt und ist daher gemäß § 4 PatG wegen fehlender erfinderischer Tätigkeit nicht patentfähig.Bei dieser Sachlage kann die Zulässigkeit der geltenden Patentansprüche sowie die Erörterung der Neuheit dahingestellt bleiben, vgl. BGH GRUR 1991, 120-121, II.1. - Elastische Bandage.Der zuständige Fachmann ist hier als ein in der Halbleiterindustrie tätiger, mit der Weiterentwicklung der MOS-Feldeffekttransistor-Technologie betrauter berufser-fahrener Diplom-Physiker oder Diplom-Ingenieur der Elektrotechnik mit Hoch-schulabschluss zu definieren.1. Die Anmeldung betrifft Feldeffekttransistoren und insbesondere Leistungs-MOSFET (Metalloxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor)-Vorrichtungen sowie Verfah-ren zu deren Herstellung.Solche Leistungs-MOSFET-Vorrichtungen finden in zahlreichen Elektrogeräten Verwendung, bspw. in Telekommunikationseinrichtungen und der Automobilelek-tronik.Zu den Kenndaten, mit denen die Eigenschaften von MOSFETs charakterisiert werden, gehören insbesondere die Drain-Source-Durchbruchspannung (BVDSS), d. h. die Spannung zwischen Drain und Source, ab der der Transistor durchbricht und nicht mehr sperrt, sowie der Durchlasswiderstand RDS(on), der den elektrischen Widerstand des Transistors im durchgeschalteten Zustand angibt und sich aus dem Verhältnis Drain-Source-Spannung zu Drainstrom ergibt (RDS(on)=UDS/ID). Aus Gründen der Betriebssicherheit ist generell eine hohe Durchbruchspannung anzu-streben, wohingegen ein effizienter Betrieb des MOSFETs ohne übermäßige Ver-lustleistung einen geringen Durchlasswiderstand erfordert. Beide Kenndaten hän-gen jedoch stark vom elektrischen Widerstand des Halbleitermaterials ab, wobei ein niedriger Durchlasswiderstand mit einer unerwünschten geringeren Durch-bruchspannung einhergeht und eine erhöhte Durchbruchspannung gleichzeitig einen unerwünschten hohen Durchlasswiderstand zur Folge hat.In einer vertikalen Leistungs-MOSFET-Vorrichtung setzt sich dieser Durchlasswi-derstand aus verschiedenen Widerstandskomponenten zusammen und umfasst den Inversionskanalwiderstand (= Kanalwiderstand), den Substratwiderstand, den Widerstand der auf das Substrat aufgebrachten epitaktischen Schicht (= Epischicht) und ggf. weitere Widerstände. Dementsprechend kann der Durch-lasswiderstand durch die Verringerung des Widerstands von einem oder mehreren dieser Komponenten reduziert werden. Bei der maximalen Durchbruchspannung bricht die in Sperrrichtung vorgespannte Epischicht/Wannendiode des MOSFETs durch, was in einem signifikanten und unkontrollierten Drain-Source-Strom resul-tiert. Die Durchbruchspannung einer MOSFET-Vorrichtung kann zwar durch Erhö-hen der Dicke oder des spezifischen Widerstandes der Epischicht vergrößert wer-den, jedoch geht dies mit einer unerwünschten Erhöhung des Durchlasswider-stands einher. Wie Computersimulationen zeigen, bestimmt der Widerstand der Epischicht in signifikanter Weise den Durchlasswiderstand von MOSFET-Vorrich-tungen. Folglich ist es insbesondere für Anwendungen mit höherer Spannung wünschenswert, den Widerstand der Epischicht und damit den Durchlasswider-stand zu reduzieren ohne die Durchbruchspannungscharakteristika der MOSFET-Vorrichtung zu verschlechtern.Im Sperrbetrieb bildet sich durch das Anlegen einer Drain-Source-Sperrspannung eine Verarmungs-Region an der Verbindung zwischen der Epischicht und der ent-gegengesetzt dotierten Wannenregion soweit aus, bis bei der Durchbruchspan-nung die in Sperrrichtung vorgespannte Epischicht/Wannendiode durchbricht. Diese Ausbildung von Verarmungsregionen erfolgt bei einer in Fig. 1 der Anmel-dung dargestellten konventionellen Graben-MOSFET-Vorrichtung mit zunehmen-der Sperrspannung in vertikaler Richtung von der P-Wannen/n-Epischicht Schnitt-stelle aus hin zur N+-Drainregion. Dieses vertikale Wachstum der Verarmungsre-gion verstärkt somit den Zielkonflikt zwischen niedrigem RDS(on) und hohem BVDSSin konventionellen Graben-MOSFET-Vorrichtungen, vgl. geltende Beschreibungs-seite 1 bis S. 2, Z. 19 sowie S. 7, vorletzter Absatz.Vor diesem Hintergrund liegt der Anmeldung als technisches Problem die Aufgabe zugrunde, einen Feldeffekttransistor, der eine hohe Durchbruchspannung BVDSSbei niedrigem Durchlasswiderstand RDS(on) aufweist, sowie ein zugehöriges Her-stellungsverfahren anzugeben vgl. geltende Beschreibungsseite 2, Zn. 20 bis 22.Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Feldeffekttransistor und durch ein zugehö-riges Herstellungsverfahren mit den Merkmalen der Ansprüche 1, 9 und 15 nach Hauptantrag bzw. mit den Merkmalen der Ansprüche 1, 8 und 13 nach dem ersten und zweiten Hilfsantrag.Der anspruchsgemäße Feldeffekttransistor und das zugehörige Herstellungsver-fahren zeichnen sich insbesondere durch das Ausbilden einer Vielzahl von Strei-fengräben aus, die seitlich der Vielzahl der Grabengates (Gattergräben) beab-standet sind, sich fast vollständig durch den Halbleiterbereich (Hauptantrag) bzw. die epitaktische Schicht (1. und 2. Hilfsantrag) des ersten Leitfähigkeitstyps er-strecken und zudem wenigstens teilweise mit einem epitaktischen Silizium des zweiten Leitfähigkeitstyps solcherart ausgefüllt sind, dass (i) das epitaktische Sili-zium des zweiten Leitfähigkeitstyps zusammen mit dem Wannenbereich eine zu-sammenhängende Region des zweiten Leitfähigkeitstypus bildet, und (ii) das epi-taktische Silizium des zweiten Leitfähigkeitstypus eine PN-Verbindung mit einem Abschnitt des Halbleiterbereichs bzw. der epitaktischen Schicht ausbildet.Diese Streifengräben induzieren im Sperrfall die Ausbildung einer sich horizontal ausbreitenden Verarmungsregion. Wird somit eine Sperrspannung (= reverse Vor-spannung) zwischen Source (= Zuführungsbereich) und Drain (= Ableitungs-bereich) angelegt, breitet sich der Verarmungsbereich (Bezugszeichen 50 in Fig. 2) zunächst horizontal von den Seiten der Streifengräben aus und die Bereiche zwischen den Streifengräben werden schnell von Ladungsträgern verarmt. Danach breitet sich mit zunehmender Sperrspannung der Verarmungsbe-reich vertikal vom unteren Ende der Streifengräben zum Drainbereich aus, so dass der Halbleiterbereich bzw. die epitaktische Schicht schneller von Ladungs-trägern verarmt ist, als wenn keine Streifengräben vorhanden wären und sich die Verarmungsregion nur in vertikaler Richtung ausbreiten würde. Insbesondere ver-ringern die Streifengräben die Gefahr eines Durchbruchs im Bereich der wegen der geringen Krümmungsradien diesbezüglich besonders anfälligen unteren Kan-ten der Grabengates. Dies ermöglicht es, einen Feldeffekttransistor mit einer ho-hen Drain-Source-Durchbruchspannung (BVDSS) und einem niedrigen elektrischen Widerstand des Halbleiterbereichs bzw. der epitaktischen Schicht und damit ei-nem niedrigen Durchlasswiderstand RDS(on) bereit zu stellen, vgl. S. 8, erster Ab-satz und S. 9, letzter Absatz bis Seite 10, erster Absatz.2. Druckschrift D1, vgl. deren Figur 1 sowie die zugehörige Beschreibung in den Absätzen [0036] bis [0043], offenbart mit den Worten des Anspruchs 1 nach Hauptantrag einenFeldeffekttransistor (MOSFET / vgl. Abs. [0036] u. Fig. 1), umfassendeinen Halbleiterbereich (N–-type drain region 6 / vgl. Abs. [0037] u. Fig. 1) eines ersten Leitfähigkeitstypus mit einer Dicke, welche durch den Abstand zwischen den oberen und unteren Oberflächen des Halbleiterbereichs (6) definiert wird;einen Wannenbereich (P-type base region 5 / vgl. Abs. [0037] u. Fig. 1) eines zweiten Leitfähigkeitstypus über dem gesamten Halbleiterbereich (6);eine Vielzahl von Gattergräben (trench gate structure, gate trench, gate insulating film 7, gate electrode 8 / vgl. Abs. [0037] u. Fig. 1), welche sich jeweils durch den Wannenbereich (5) erstrecken und innerhalb einer oberen Hälfte des Halbleiterbe-reichs (6) enden (vgl. Fig. 1);eine Vielzahl von Zuführungsbereichen (N+-type source region 4 / vgl. Abs. [0037] u. Fig. 1) des ersten Leitfähigkeitstypus in einem oberen Abschnitt des Wannenbe-reichs (5), wobei die Vielzahl der Zuführungsbereiche (4) die Seiten der Vielzahl der Gattergräben (7, 8) flankieren; undeine Vielzahl von Streifengräben (vgl. Fig. 1 u. 2 mit Abs. [0038]: „[…] Also formed is a contact trench extending downward from the surface of the P-type base region 5 through the P-type contact region 14 and the P-type base region 5 to reach an inner region of of the N-type drain region 6. A P-type impurity diffusion region (P–-type diffusion region) 9 having an impurity concentration lower than that in the P-type base region 5 is formed on the side wall and the bottom of that portion of the contact trench which is positioned within the N-type drain region 6. A conductive film 10 such as a polysilicon film is buried in the contact trench.”), welche sich je-weils durch den Wannenbereich (5) erstrecken und innerhalb einer unteren Hälfte des Halbleiterbereichs (6) bei einer Tiefe nahe der unteren Oberfläche des Halb-leiterbereichs (6) enden, wobei jeder Streifengraben (contact trench, conductive film 10) seitlich von einem oder mehreren der Vielzahl der Gattergräben (7, 8) be-abstandet istund zumindest teilweise von einem Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitsty-pus (P–-type diffusion region 9 / vgl. Abs. [0038] u. Fig. 1) solcherart umgeben ist, dass:(i) Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstypus zusammen mit dem Wannen-bereich (5) eine zusammenhängende Region des zweiten Leitfähigkeitstypus bil-den (vgl. Fig. 1) und(ii) das Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstypus (9) eine PN-Verbindung mit dem Halbleiterbereich (6) bildet (vgl. Fig. 1).Dabei ergibt sich obiges Merkmal (i) bezüglich der zusammenhängenden Region des Halbleitermaterials des zweiten Leitfähigkeitstypus und des Wannenbereichs (5) aus Fig. 1 und dem in Druckschrift D1, Absatz [0042], beschriebenen Herstel-lungsverfahren des P–-dotierten Diffusionsgebietes (9) entlang des Bodens und der Wände der Streifengräben mittels einer unter einer Drehbewegung zwischen Substrat und Ionenkanone erfolgenden Schräg-Implantation von Bor-Ionen in den Grabenboden und die Grabenwände (rotary implantation). Denn bei einem sol-chen Dotierverfahren erfolgt zwangsläufig auch die Dotierung der im Wannenbe-reich (5) liegenden Seitenwände des Streifengrabens. Daher stellt dieser mit Bor-Ionen dotierte und in Fig. 1 nicht dargestellte Bereich entlang des oberen Teils des Streifengrabens ebenso wie der Bereich (9) im unteren Teil des Streifengrabens einen Bereich aus Halbleitermaterial des zweiten Leitungstyps (P) dar, der im obe-ren Teil zusammen mit dem Wannenbereich (5) eine zusammenhängende Region des zweiten Leitfähigkeitstypus (P) bildet und im unteren Teil (9) eine PN-Verbin-dung mit dem N–-dotierten Halbleiterbereich (6) herstellt.Somit unterscheidet sich der Feldeffekttransistor des Anspruchs 1 nach Hauptan-trag von dem in Druckschrift D1 offenbarten Feldeffekttransistor lediglich dadurch, dass das Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstyps anmeldungsgemäß entlang der Innenwände der Streifengräben aufgebracht ist, indem die Streifen-gräben zumindest teilweise mit einem Halbleitermaterial des zweiten Leitfähig-keitstyps gefüllt sind, wohingegen nach der Lehre der Druckschrift D1 - wie eben dargelegt - das Halbleitermaterial des zweiten Leitfähigkeitstyps entlang der Außenwände der Streifengräben vorgesehen ist.Dieser Unterschied kann jedoch keine Patentfähigkeit des beanspruchten Feld-effekttransistors begründen. So geht Druckschrift D1 in Übereinstimmung mit der Lehre der Anmeldung von der Aufgabe aus, einen Feldeffekttransistor anzugeben, der eine hohe Durchbruchspannung BVDSS bei niedrigem Durchlasswiderstand RDS(on) aufweist, und sie schlägt zu deren Lösung einen Feldeffekttransistor vor, der in weiterer Übereinstimmung mit der Anmeldung Streifengräben bzw. Kontakt-gräben aufweist, die ebenso wie bei der vorliegenden Anmeldung dazu führen, dass sich bei angelegter Drain-Source-Sperrspannung die Verarmungszone zu-nächst senkrecht zu den Seitenwänden der Gräben ausbreitet, und auch im Fall von epitaktischen Halbleiterschichten mit geringem elektrischen Widerstand eine hohe Durchbruchspannung des Transistors gewährleistet ist, vgl. die Abs. [0004] bis [0007], [0041] und [0067] der Druckschrift D1. Da dem Fachmann zudem aus Druckschrift D7, vgl. deren Abstract, ein Verfahren bekannt ist, bei dem Halbleiter-schichten auf der Innenseite von Gräben mittels selektiver Epitaxie abgeschieden und somit Gräben zumindest teilweise mit Halbleitermaterial gefüllt werden, und sich mit solch einem Verfahren die Integrationsdichte des Transistors aus Druck-schrift D1 weiter erhöhen lässt, wird er ausgehend von Druckschrift D1 und in Kenntnis der Druckschrift D7 auch bei dem in Druckschrift D1 beschriebenen Transistor eine epitaktische Abscheidung des p-dotierten Halbleitermaterials auf der Innenseite des Kontaktgrabens statt der p-Dotierung der Grabenaußenseite vorsehen, und dadurch in naheliegender Weise einen Feldeffekttransistor mit sämtlichen Merkmalen des Anspruchs 1 erhalten, ohne dabei erfinderisch tätig werden zu müssen.Der Feldeffekttransistor des Anspruchs 1 nach Hauptantrag wird dem Fachmann somit durch die Druckschrift D1 i. V. m. der Druckschrift D7 nahegelegt und ist wegen fehlender erfinderischer Tätigkeit nicht patentfähig.3. Gleiches gilt für den Feldeffekttransistor nach Anspruch 1 des ersten Hilfsan-trags, denn dessen Zusatzmerkmale, wonach der Feldeffekttransistor eine epitak-tische Schicht und eine höher dotierte Ableitungsschicht (= Drainbereich) aufweist, sind aus Druckschrift D1 ebenfalls bekannt, vgl. in Fig. 1 die N-dotierte Schicht 11 als Ableitungsschicht und die schwächer dotierte N- -Schicht 6, die gemäß dem zweiten Satz von Abs. [0037] eine epitaktische Schicht ist.Somit ist der Feldeffekttransistor nach Anspruch 1 des ersten Hilfsantrags eben-falls wegen fehlender erfinderischer Tätigkeit bezüglich der Druckschriften D1 und D7 nicht patentfähig.4. Wie vorstehend unter Punkt 2 dargelegt, ersetzt der Fachmann zur Erhöhung der Integrationsdichte bei dem in Druckschrift D1 beschriebenen Transistor ent-sprechend der Lehre der Druckschrift D7 die p-Dotierung der Grabenaußenseite durch eine epitaktische Abscheidung von p-dotiertem Halbleitermaterial auf der Innenseite des Kontaktgrabens, ohne dabei erfinderisch tätig werden zu müssen. Da in diesem Fall ohne weiteres Zutun auch ein Abschnitt des epitaktischen Silizi-ums des zweiten Leitfähigkeitstypus, der unterhalb des Wannenbereichs angeord-net ist, in direktem Kontakt mit der epitaktischen Schicht (N–-type drain region 6)steht, ergibt sich auch das Zusatzmerkmal des Anspruchs 1 nach dem zweiten Hilfsantrag in naheliegender Weise aus den Druckschriften D1 und D7.Daher ist der Feldeffekttransistor nach Anspruch 1 des zweiten Hilfsantrags ebenfalls wegen fehlender erfinderischer Tätigkeit bezüglich der Druckschriften D1 und D7 nicht patentfähig.5. Es kann dahingestellt bleiben, ob der Feldeffekttransistor nach den Unteransprüchen bzw. das Verfahren nach den Nebenansprüchen des Hauptan-trags oder des ersten und zweiten Hilfsantrags patentfähig ist, denn wegen der Antragsbindung im Patenterteilungsverfahren fallen mit dem Patentanspruch 1 auch die mittelbar oder unmittelbar auf den selbständigen Patentanspruch rückbe-zogenen Unteransprüche (vgl. BGH GRUR 2007, 862, 863 Tz. 18 - „Infor-mationsübermittlungsverfahren II“ m. w. N.).6. Bei dieser Sachlage war die Beschwerde der Anmelderin zurückzuweisen.Dr. Strößner Brandt Metternich Dr. FriedrichCl

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